[發明專利]載物裝置及曝光裝置

有效

• 申請號: 201110459299.3
• 申請日: 2011-12-31
• 公開（公告）號: CN103186054A
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 伍強;郝靜安
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種載物裝置，包括：

載物臺，所述載物臺包括第一表面、與第一表面相對的第二表面、以及位于第一表面和第二表面之間的側壁，其特征在于，所述載物臺還包括連接所述側壁與第一表面和第二表面的交界區，所述交界區呈弧形，減小載物臺運動時空氣對載物臺的阻力和空氣產生的擾動。

2.如權利要求1所述的載物裝置，其特征在于，所述弧形為圓弧、橢圓弧、對數曲線弧、指數曲線弧、二次曲線弧、拋物曲線弧的一種。

3.如權利要求1所述的載物裝置，其特征在于，所述弧形為圓弧、橢圓弧、對數曲線弧、指數曲線弧、二次曲線弧、拋物曲線弧的兩種或兩種以上的組合。

4.如權利要求1所述的載物裝置，其特征在于，所述載物臺的側壁設置有載物臺位置測量裝置。

5.如權利要求4所述的載物裝置，其特征在于，所述測量裝置為光干涉計。

6.如權利要求1所述的載物裝置，其特征在于，所述載物臺下部包括用于使載物臺浮起的空氣墊裝置。

7.如權利要求1所述的載物裝置，其特征在于，所述載物臺第一表面包括用于固定晶圓的吸盤或晶圓夾持器。

8.如權利要求1所述的載物裝置，其特征在于，所述第一表面和第二表面的面積大于晶圓的面積。

9.如權利要求1所述的載物裝置，其特征在于，所述弧形的凸起面遠離載物臺的中心。

10.一種曝光裝置，其特征在于，包括：至少一個載物臺，所述載物臺包括第一表面、與第一表面相對的第二表面、位于第一表面和第二表面之間的側壁、以及連接所述側壁與第一表面和第二表面的交界區，所述交界區呈弧形，所述第一表面用于放置晶圓，曝光裝置對放置在第一表面上的晶圓進行曝光。

11.如權利要求10所述的曝光裝置，其特征在于，所述曝光裝置為浸入式曝光裝置。

12.如權利要求10所述的曝光裝置，其特征在于，所述載物臺的個數為兩個。