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[發明專利]一種磷化鎵單晶拉制過程中再熔接的方法有效

專利信息
申請號: 201110452389.X 申請日: 2011-12-29
公開(公告)號: CN103184511A 公開(公告)日: 2013-07-03
發明(設計)人: 馬英俊;林泉;張潔 申請(專利權)人: 北京有色金屬研究總院;有研光電新材料有限責任公司
主分類號: C30B15/20 分類號: C30B15/20;C30B29/44
代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 代理人: 郭佩蘭
地址: 100088 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 磷化 鎵單晶 拉制 過程 熔接 方法
【權利要求書】:

1.一種磷化鎵單晶拉制過程中再熔接的方法,其特征在于:它包括以下步驟:

1).當碰舟或粘舟情況發生后立即停止晶升、堝升;

2).用0.5~5℃/min的速率升溫,觀察微分重量和浮舟轉速變化情況;

3).當微分重量顯示小于1.2~2.0g/min,停止升溫;

4).當浮舟轉速穩定在3.0~5.0秒/轉時,將晶體向下回插1~5mm,然后穩料30分鐘;

5).穩料后,將晶體提拉速度逐漸增加為3~15mm/hr開始提拉,同時將堝升增加至0.3~1.5mm/hr繼續拉晶,晶體再熔接過程結束。

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