[發明專利]一種磷化鎵單晶拉制過程中再熔接的方法有效
| 申請號: | 201110452389.X | 申請日: | 2011-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN103184511A | 公開(公告)日: | 2013-07-03 |
| 發明(設計)人: | 馬英俊;林泉;張潔 | 申請(專利權)人: | 北京有色金屬研究總院;有研光電新材料有限責任公司 |
| 主分類號: | C30B15/20 | 分類號: | C30B15/20;C30B29/44 |
| 代理公司: | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人: | 郭佩蘭 |
| 地址: | 100088 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 磷化 鎵單晶 拉制 過程 熔接 方法 | ||
1.一種磷化鎵單晶拉制過程中再熔接的方法,其特征在于:它包括以下步驟:
1).當碰舟或粘舟情況發生后立即停止晶升、堝升;
2).用0.5~5℃/min的速率升溫,觀察微分重量和浮舟轉速變化情況;
3).當微分重量顯示小于1.2~2.0g/min,停止升溫;
4).當浮舟轉速穩定在3.0~5.0秒/轉時,將晶體向下回插1~5mm,然后穩料30分鐘;
5).穩料后,將晶體提拉速度逐漸增加為3~15mm/hr開始提拉,同時將堝升增加至0.3~1.5mm/hr繼續拉晶,晶體再熔接過程結束。
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