[發明專利]一種平面高精度平行度的檢測裝置無效
| 申請號： | 201110451097.4 | 申請日： | 2011-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN102538714A | 公開（公告）日： | 2012-07-04 |
| 發明（設計）人： | 魚衛星;王二偉;王成;孫強 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01B11/26 | 分類號： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人： | 張偉 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 平面 高精度 平行 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種平面高精度平行度的檢測裝置，其特征在于，包括：
平面干涉測量裝置，其可以對第一待測面與第二待測面之間的平行度進行激光平面干涉測量；
移相裝置，其可以將所述第二待測面在光路方向上移動；
所述第一待測面為半反半透的待測面，所述第二待測面為全反射的待測面，在光路上，所述第一待測面位于所述第二待測面之前。
2.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述平面干涉測量裝置為平面斐索干涉儀。
3.如權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述移相裝置包括：
PZT壓電陶瓷，其與所述第二待測面相連，用來調整所述第二待測面在光路上的位置；
驅動電路，其用來控制所述PZT壓電陶瓷的工作；
控制電路，其用來控制所述驅動電路的工作；
檢測電路，其用來檢測所述PZT壓電陶瓷的位置；
電源電路，其用來對驅動電路，控制電路，檢測電路進行供電。
4.如權利要求1-3任一所述的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置中還包括信息采集處理裝置，其包括：
探測器，其用來接收激光平面干涉測量得到的干涉信息；
信息采集卡，其用來采集所述探測器探測到的信息；
PC機，其用來處理信息采集卡采集到的信息。
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