[發明專利]一種半導體微氣壓傳感器測試系統無效
| 申請號： | 201110445801.5 | 申請日： | 2011-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN102564695A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發明（設計）人： | 金仁成;劉光;王曉東;郭文泰;唐禎安 | 申請（專利權）人： | 大連理工大學 |
| 主分類號： | G01L27/00 | 分類號： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 大連理工大學專利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉;關慧貞 |
| 地址： | 116024*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 氣壓 傳感器 測試 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體微氣壓傳感器測試系統，其特征在于系統包括微機控制部分和真空獲取部分；微機控制部分包括控制主機、程控電源、驅動電路、測試電路、A/D卡和D/A卡；真空獲取部分包括真空腔室、泵組、質量流量控制器和真空計；
控制主機控制程控電源，將電壓或電流加載到驅動電路，為待測器件提供四種工作模式，待測器件的響應信號通過測試電路和A/D卡傳遞到控制主機；真空獲取部分包括真空腔室、泵組、質量流量控制器和真空計，真空腔室分別與質量流量控制器和泵組相連，氣體從質量流量控制器流入，從泵組流出，質量流量控制器與D/A卡相連，通過模糊PID控制算法維持真空腔室內氣壓平衡，真空計是待測傳感器標定基準；
所述驅動電路包括選擇開關、恒壓電路、恒流電路、恒溫電路和恒功率電路，利用程控電源提供的恒定電流及恒定電壓，為半導體微氣壓傳感器提供恒壓、恒流、恒溫和恒功率四種工作模式；
所述測試電路包括通道選擇開關、程控放大器、濾波器、單片機和電源管理模塊；
所述真空腔室為圓筒型，內置測試平臺，腔室前門具有觀察窗；
所述泵組由機械泵和擴散泵組成，機械泵產生10Pa以上的低真空環境，擴散泵產生10Pa以下的高真空環境；
測試系統采用模糊PID控制算法進行氣壓控制，在大偏差范圍內利用模糊推理的方法進行控制，小偏差范圍內轉變成PID控制。?
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