[發明專利]一種硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法

無效

• 申請號: 201110444298.1
• 申請日: 2011-12-27
• 公開（公告）號: CN102557031A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 孟慶華;鄢洪建
• 申請（專利權）人: 雙流新源圣光科技有限公司
• 主分類號: C01B31/36
• 分類號: C01B31/36;C08J11/06
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 方強

1.一種硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法，其特征在于：

步驟1，將主要成分是碳化硅、聚乙二醇和硅粉的廢砂漿和降黏劑按照質量分數比3：10～4：10進行攪拌，制得懸浮液，然后進行固液分離得到一級懸浮液和一級固體顆粒；所述一級懸浮液的主要成分為聚乙二醇、硅粉、降粘劑，一級固體顆粒的主要成分為碳化硅、硅粉和聚乙二醇；

步驟2，將步驟1得到的一級固體顆粒加入降黏劑，降黏劑和一級固體顆粒按照質量分數比2：1～3：1進行攪拌，制得懸浮液，然后進行固液分離得到二級懸浮液和二級固體顆粒，二級懸浮液返回步驟1利用；所述二級懸浮液的主要成分為降粘劑、聚乙二醇，二級固體顆粒的主要成分為碳化硅、硅粉；

步驟3，經過步驟1和步驟2的固液分離后，廢砂漿中60%的直徑小于或等于3微米的硅粉、鐵微粉被分離到懸浮液中；此時，將步驟2得到的二級固體顆粒加水攪拌制得懸浮液，然后進入超聲波清洗機清洗，徹底將裹附在碳化硅表面的硅粉分離；

步驟4，步驟3中經過超聲波清洗后的懸浮液被進行旋流分離，得到硅粉懸浮液和碳化硅懸浮液，85%的硅粉進入懸浮液，碳化硅懸浮液中還有15%的硅粉；

步驟5，將步驟4得到硅粉懸浮液通過板框壓濾、壓縮空氣吹洗，得到含水量為3～5%的硅粉濾餅，作為產品出售；

步驟6，將步驟4得到的碳化硅懸浮液通過磁槽除鐵；

步驟7，將步驟6除鐵后的懸浮液進行離心分離、離心水洗、離心分離，進一步除去包括有碳化硅、硅粉的固體顆粒中的硅粉，然后得到硅粉含量為千分之三的固體顆粒；

步驟8，在步驟7得到的固體顆粒加入氫氧化鈉進行堿洗，氫氧化鈉與固體顆粒的質量分數為1：10；

步驟9，經步驟8堿洗后的懸浮液在濾網式離心分離機中進行固液分離，先分離堿性液體，再加水進行離心水洗，直到PH值為6.5時停止加水繼續分離，得到固體顆粒；所述懸浮液主要成分為碳化硅、偏硅酸鈉，所述固體顆粒的主要成分為碳化硅；

步驟10，將步驟9得到的固體顆粒依次進行烘干、分級，最后得到可循環利用的碳化硅。

2.根據權利要求1所述的一種硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法，其特征在于：步驟1和步驟2中所述的降黏劑為乙醇、甲醇、水、丙酮中的任一種或多種混合物。

3.根據權利要求1或2所述的一種硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法，其特征在于：在所述的步驟3中，將步驟2得到的二級固體顆粒加水攪拌制得懸浮液后，在超聲波清洗機清洗30～50分鐘。

4.根據權利要求3所述的一種硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法，其特征在于：在所述的步驟8中，所述堿洗是指將步驟7得到的固體顆粒加入氫氧化鈉在堿反應池反應清洗4～6小時。

5.根據權利要求1或4所述的一種硅片切割廢砂漿中的碳化硅回收利用的方法，其特征在于：所述堿洗池的PH值為10～13。