[發明專利]一種加工晶體材料時對坩堝的均溫裝置及其方法

有效

• 申請號: 201110443451.9
• 申請日: 2011-12-18
• 公開（公告）號: CN103160933A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 劉朝軒;王晨光
• 申請（專利權）人: 洛陽金諾機械工程有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種加工晶體材料時對坩堝的均溫裝置，包括坩堝(2)、加熱套和支撐體(6)，其特征是：在坩堝(2)外部間隔設置有加熱套，加熱套的兩側分別連接有電極A(5)和電極B(7)，在所述坩堝(2)下部設置有支撐體(6)；在坩堝(2)與加熱套之間設有均勻溫度套，所述溫度套通過動力機構旋轉。

2.根據權利要求1所述的加工晶體材料時對坩堝的均溫裝置，其特征是：所述電極A(5)和電極B(7)的其中一個為正極，另一個便是負極。

3.根據權利要求1所述的加工晶體材料時對坩堝的均溫裝置，其特征是：所述加熱套的材質為石墨、鎢或鉬的任意一種。

4.根據權利要求1所述的加工晶體材料時對坩堝的均溫裝置，其特征是：所述動力機構第一結構，在均勻溫度套的上端外部設置外翻邊(17)，外翻邊(17)的下部面上設置環形向上凹陷的圓弧槽，在外翻邊(17)的下部設置托環(12)，所述托環(12)的外部由至少三根吊桿(10)連接，所述吊桿(10)上端與爐室上部內壁連接，所述托環(12)的內面與均勻溫度套的外部面間隔設置，在托環(12)的上部面上設有對應外翻邊(17)圓弧槽的向下凹陷圓弧槽，外翻邊(17)圓弧槽與托環(12)的圓弧槽之間設有復數個滾動體(11)，在均勻溫度套的下端面上設有齒面(15)，設置在爐室下部的支撐座(13)上部通過動力軸A(14)的一端固定齒輪A(16)，所述齒輪A(16)與均勻溫度套下部面的齒面(15)齒合，所述動力軸A(14)的另一端外接動力。

5.根據權利要求1所述的加工晶體材料時對坩堝的均溫裝置，其特征是：所述動力機構另一替換結構，在均勻溫度套的上端外部設置外翻邊(17)，外翻邊(17)的下部面上設置環形向上凹陷的圓弧槽，在外翻邊(17)的下部設置托環(12)，所述托環(12)的外部由至少三根吊桿(10)連接，所述吊桿(10)上端與爐室上部內壁連接，所述托環(12)的內面與均勻溫度套的外部面間隔設置，在托環(12)的上部面上設有對應外翻邊(17)圓弧槽的向下凹陷圓弧槽，外翻邊(17)圓弧槽與托環(12)的圓弧槽之間設有復數個滾動體(11)，在均勻溫度套的上端面上設有齒面(15)，設置在爐室上部的支撐座(13)下部通過動力軸A(14)的一端固定齒輪A(16)，所述齒輪A(16)與均勻溫度套上端面的齒面(15)齒合，所述動力軸A(14)的另一端外接動力。

6.根據權利要求1所述的加工晶體材料時對坩堝的均溫裝置，其特征是：所述動力機構第三替換結構，在均勻溫度套的上端外部設置外翻邊(17)，外翻邊(17)的下部面上設置環形向上凹陷的圓弧槽，在外翻邊(17)的下部設置托環(12)，所述托環(12)的外部由至少三根吊桿(10)連接，所述吊桿(10)上端與爐室上部內壁連接，所述托環(12)的內面與均勻溫度套的外部面間隔設置，在托環(12)的上部面上設有對應外翻邊(17)圓弧槽的向下凹陷圓弧槽，外翻邊(17)圓弧槽與托環(12)的圓弧槽之間設有復數個滾動體(11)，在均勻溫度套的下部外緣面上環繞設有外緣齒面(18)，設置在爐室下部的豎動力軸B(20)上的齒輪B(19)與均勻溫度套的外緣齒面(18)齒合，豎動力軸B(20)的下部外接動力。

7.根據權利要求1所述的加工晶體材料時對坩堝的均溫裝置，其特征是：所述動力機構第四替換結構，在均勻溫度套的下端外部設置下部外翻邊(25)，下部外翻邊(25)的下部面上設置環形槽(24)，在爐室下部設有至少三個支撐座(13)，所述支撐座(13)上設有一個動力轉輪(22)，另外的支撐座(13)上設置為轉輪(23)且由軸(26)連接，所述動力轉輪(22)和轉輪(23)對應下部外翻邊(25)的環形槽(24)，動力轉輪(22)和轉輪(23)之間的間距為均勻設置，其中動力轉輪(22)通過動力軸A(14)的一端連接在支撐座(13)上，動力軸A(14)的另一端外接動力。