[發明專利]霍爾及氣敏測量裝置

有效

• 申請號: 201110442319.6
• 申請日: 2011-12-20
• 公開（公告）號: CN103176146A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發明（設計）人: 康升紅;吳兵;李廣海
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: G01R33/12
• 分類號: G01R33/12;G01N27/00
• 代理公司: 合肥和瑞知識產權代理事務所(普通合伙) 34118
• 代理人: 任崗生;王挺

1.一種霍爾及氣敏測量裝置，包括與導軌(10)連接的基座(12)上置有的樣品座、與樣品座電連接的測量部件(13)和位于導軌(10)軌跡兩側的一對永磁體，其特征在于：

所述基座(12)與導軌(10)之間為動配合連接；

所述樣品座為與真空室(2)相連通的樣品室(3)，所述樣品室(3)中置有與所述測量部件(13)電連接的接線器(4)和與測控部件(15)的輸出端電連接的電加熱器(11)，所述真空室(2)分別與真空部件(14)和配氣部件(1)相連通；

所述一對永磁體為與電磁部件(9)的輸出端電連接的一對線圈(6)；

所述真空部件(14)和配氣部件(1)的控制端、電磁部件(9)的輸入端與測控部件(15)的輸出端電連接，所述測控部件(15)的輸入端與測量部件(13)的輸出端電連接，用于測試樣品(5)的霍爾參數和氣敏特性。

2.根據權利要求1所述的霍爾及氣敏測量裝置，其特征是測量部件(13)為Keithley?Instruments?Inc.公司的型號為Keithley?4200的半導體綜合測試儀。

3.根據權利要求1所述的霍爾及氣敏測量裝置，其特征是真空部件(14)由串接的機械真空泵和渦輪分子泵組成。

4.根據權利要求1所述的霍爾及氣敏測量裝置，其特征是配氣部件(1)由與氣源相連通的、受布朗克豪斯特高科公司的型號為F-200的氣體質量流量控制器控制的控制閥門組成。

5.根據權利要求1所述的霍爾及氣敏測量裝置，其特征是測控部件(15)為微型計算機，或單片機。

6.根據權利要求1所述的霍爾及氣敏測量裝置，其特征是線圈(6)套裝有與冷卻部件(7)相連通的冷卻管。

7.根據權利要求5所述的霍爾及氣敏測量裝置，其特征是一對線圈(6)之間置有其輸出端經接口電路與微型計算機電連接的磁場探測器(8)。

8.根據權利要求5所述的霍爾及氣敏測量裝置，其特征是真空部件(14)和配氣部件(1)的控制端、電磁部件(9)的輸入端經RS-232通訊卡與微型計算機電連接。

9.根據權利要求5所述的霍爾及氣敏測量裝置，其特征是微型計算機經GPIB控制卡與測量部件(13)的輸出端電連接。

10.根據權利要求5所述的霍爾及氣敏測量裝置，其特征是微型計算機經RS-485通訊卡和溫度控制儀與電加熱器(11)電連接。