[發(fā)明專(zhuān)利]一種精確測(cè)量大口徑光學(xué)平面基自由曲面面形精度的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110439188.6
• 申請(qǐng)日: 2011-12-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102564342A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范鏑
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 長(zhǎng)春菁華專(zhuān)利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 陶尊新

1.一種精確測(cè)量大口徑光學(xué)平面基自由曲面面形精度的方法，其特征是，該方法由以下步驟實(shí)現(xiàn)：

步驟一、根據(jù)被檢測(cè)平面基自由曲面(4)的面形數(shù)據(jù)與口徑和離軸拋物鏡(3)的口徑、焦距和離軸量數(shù)據(jù)采用激光直寫(xiě)技術(shù)在玻璃基底上制作計(jì)算全息圖；

步驟二、調(diào)整激光干涉儀(1)與離軸拋物鏡(3)的位置，使激光干涉儀(1)發(fā)出球面波焦點(diǎn)與離軸拋物鏡(3)的焦點(diǎn)重合，并且球面波前經(jīng)過(guò)離軸拋物鏡(3)的反射后形成與離軸拋物鏡(3)的有效口徑等大的平面波前；

步驟三、調(diào)整步驟一獲得的計(jì)算全息圖(2)的位置，使激光干涉儀(1)發(fā)出的球面波前經(jīng)過(guò)計(jì)算全息圖(2)和離軸拋物鏡(3)后，獲得與標(biāo)準(zhǔn)自由曲面波前一致的波前；

步驟四、調(diào)整被檢測(cè)平面基自由曲面(4)的位置，使激光干涉儀(1)發(fā)出的球面波前經(jīng)過(guò)計(jì)算全息圖(2)和離軸拋物鏡(3)后與步驟三產(chǎn)生的波前發(fā)生干涉，產(chǎn)生干涉條紋；

步驟五、采用激光干涉儀(1)測(cè)量步驟四獲得的干涉條紋，獲得被檢測(cè)平面基自由曲面(4)的面形精度。