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[發明專利]用于直拉硅單晶生長的晶種夾頭無效

專利信息
申請號: 201110434697.X 申請日: 2011-12-22
公開(公告)號: CN102492983A 公開(公告)日: 2012-06-13
發明(設計)人: 田達晰;何永增;程建國;張向成;鄭鐵波;李剛 申請(專利權)人: 浙江金瑞泓科技股份有限公司
主分類號: C30B15/32 分類號: C30B15/32
代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200 代理人: 張法高
地址: 315800 浙江*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 直拉硅單晶 生長 夾頭
【權利要求書】:

1.一種用于直拉硅單晶生長的晶種夾頭,其特征在于夾頭從上到下順次包括掛鉤1、上段2、中段3、下段4、銷子5,掛鉤1頂端有一凹槽,凹槽的兩側留有銷子孔;上段2包括相連接的圓柱體和圓錐臺,總高度a為100-150mm、直徑d1為50-70mm,圓錐臺的底角α1為60°-70°、圓錐臺高度a′為5-10mm;中段3為圓錐臺,其高度b為40-50mm;下段4包括相連接的圓柱體和圓錐臺,總高度c為100-150mm,直徑d2為40-50mm,圓錐臺底角α2為60°-70°,圓錐臺高度c′為5-10mm,下段4的下部中心設有晶種的固定槽9,固定槽9的直徑d6為12-13mm,下段4的下部一側開有銷子孔7,銷子孔7為普通鍵槽形狀的通孔,銷子孔7的截面兩端的圓半徑R為2.5-4mm,圓心間距h1為1-5mm,銷子孔7的截面靠近夾頭表面的圓弧的圓心離夾頭軸線的距離為7-9mm;銷子孔7內裝有銷子5,銷子5為長度40-50mm的圓柱形,銷子5側面設有寬度e為3-6mm的平面,平面與銷子5軸線平行,銷子5的直徑d4為5-8mm,d4=2R。

2.根據權利要求1所述的一種用于直拉硅單晶生長的晶種夾頭,其特征在于所述的掛鉤1、上段2、中段3、下段4、銷子5的材料為高溫鉬。

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