[發(fā)明專利]柔性弧面聚偏氟乙烯壓電傳感器及制作方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110433976.4
• 申請(qǐng)日: 2011-12-21
• 公開（公告）號(hào): CN102522496A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董維杰;任程誠(chéng);喻言;白鳳仙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大連理工大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L41/26
• 分類號(hào): H01L41/26;H01L41/04;H01L41/113
• 代理公司: 大連理工大學(xué)專利中心 21200
• 代理人: 關(guān)慧貞

1.一種柔性弧面聚偏氟乙烯壓電傳感器的制作方法，其特征是，用液體雙組份有機(jī)硅膠制成具有弧面的柔性硅膠基底(1)，在柔性硅膠基底(1)的弧面上粘覆聚偏氟乙烯壓電薄膜(4)，在聚偏氟乙烯壓電薄膜(4)的上下表面覆蓋保護(hù)層，作為上絕緣保護(hù)層(6)和下絕緣保護(hù)層(2)，制成柔性弧面聚偏氟乙烯傳感器(15)；具體制作步驟如下：

第一步制作硅膠柔性基底(1)

(1)按照靈敏度要求計(jì)算模具的曲率半徑(R)，用不銹鋼或塑料制作模具，模具為圓柱體或扇形體，用玻璃板托住模具底部；

(2)液體雙組份有機(jī)硅膠是由有機(jī)硅膠A組份和有機(jī)硅膠B組份組成，將液體有機(jī)硅膠A組份攪拌均勻，將有機(jī)硅膠B組份在包裝內(nèi)搖勻，將A組份和B組份根據(jù)配比要求混合，充分?jǐn)嚢杈鶆颍瑢⒒旌弦后w有機(jī)硅膠灌填到模具中，灌填高度比聚偏氟乙烯壓電薄膜4的寬度大1mm；

(3)液體雙組份有機(jī)硅膠混合膠體在模具中凝膠6個(gè)小時(shí)后，在50℃條件下加溫2個(gè)小時(shí)，凝固成型后脫模，按所需弦長(zhǎng)和弧高切割形成柔性基底(1)；

第二步制作柔性弧面聚偏氟乙烯壓電傳感器

(1)按所需尺寸和性能參數(shù)裁剪聚偏氟乙烯壓電薄膜(4)，聚偏氟乙烯壓電薄膜(4)的上、下表面分別蒸鍍上表面電極(5)和下表面電極(3)，銅質(zhì)上電極貼片(13)壓貼在上表面電極(5)的端部，銅質(zhì)下電極貼片(11)壓貼在下表面電極(3)的端部，然后全部用下絕緣防護(hù)層(2)和上絕緣防護(hù)層(6)包覆密封，用上電極鉚釘(7)在上表面電極(5)的端部位置將上電極貼片(13)與上電極壓線端子(12)鉚合，用下電極鉚釘(8)在下表面電極(3)的端部位置將下電極貼片(11)與下電極壓線端子(10)鉚合，上電極引線(14)焊接在上電極壓線端子(12)，下電極引線(9)焊接在下電極壓線端子(10)；

(2)用酒精清洗下絕緣防護(hù)層(2)和柔性基底(1)的弧形表面，將絕緣防護(hù)好的聚偏氟乙烯壓電薄膜(4)的拉伸方向沿弧長(zhǎng)方向放置在柔性基底(1)的弧面上，用502快干膠將二者平整緊密地粘合在一起，完成柔性弧面聚偏氟乙烯壓電傳感器(15)的制作。

2.一種柔性弧面聚偏氟乙烯壓電傳感器，其特征是，柔性弧面聚偏氟乙烯壓電傳感器(15)中，下絕緣防護(hù)層(2)用502快干膠緊密地粘合在曲率半徑為R的柔性基底(1)上，上表面電極(5)和下表面電極(3)分別蒸鍍?cè)诰燮蚁弘姳∧?4)的上下表面上，上電極鉚釘(7)將上表面電極(5)、上電極貼片(13)和上電極壓線端子(12)固定在一起，由上電極引線(14)引出，下電極鉚釘(8)將下表面電極(3)、下電極貼片(11)和下電極壓線端子(10)固定在一起，由下電極引線(9)引出。