[發(fā)明專利]帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110429606.3
• 申請(qǐng)日: 2011-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN102418142A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡志燕;梁仁和
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京京儀世紀(jì)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 何春蘭

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)于一種帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門，特別是關(guān)于一種用于需要安裝門及觀察窗的高溫真空設(shè)備的結(jié)構(gòu)門。

背景技術(shù)

單晶硅爐是一種生長(zhǎng)單晶硅棒的真空高溫設(shè)備，為了能夠在熱場(chǎng)維持工藝溫度的情況下，可以取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶，需要裝配一種翻板閥，該翻板閥設(shè)有結(jié)構(gòu)門。

目前，結(jié)構(gòu)門是方形的，雖然有觀察窗，但是卻不是水冷結(jié)構(gòu)。因此具有如下缺點(diǎn)：

1、由于結(jié)構(gòu)門是方形的，需要用銑床加工，使得加工復(fù)雜，費(fèi)工時(shí)。

2、觀察窗不能水冷，在高溫設(shè)備上玻璃容易損壞。

3、需要專門焊一把手，工藝復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是，提供一種帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門，其能將水引流到水冷觀察窗內(nèi)，使得觀察窗上的玻璃不易損壞。

本發(fā)明的上述目的可采用下列技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

一種帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門，所述結(jié)構(gòu)門包括門閥和門芯，所述門芯焊接在門閥上，其中，所述門閥的中心設(shè)有中心孔，所述中心孔上安裝有觀察窗，所述門閥上設(shè)有流道，所述流道的一端具有進(jìn)水孔，另一端具有出水孔，所述門閥的側(cè)面設(shè)有工藝孔，所述工藝孔與所述流道相連通，且工藝孔的內(nèi)端設(shè)置在所述中心孔內(nèi)，工藝孔的外端封閉；所述門芯對(duì)應(yīng)著流道。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述流道包括進(jìn)水流道和出水流道，所述出水流道和進(jìn)水流道分別設(shè)置在所述門閥的上下側(cè)，所述工藝孔包括第一工藝孔和第二工藝孔，所述第一工藝孔與所述進(jìn)水流道連通，第二工藝孔與所述出水流道連通，所述第一、二工藝孔的內(nèi)端分別設(shè)置在所述中心孔內(nèi)。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述進(jìn)水流道的外端設(shè)有所述進(jìn)水孔，進(jìn)水流道的內(nèi)端鄰近所述中心孔，所述第一工藝孔穿過所述進(jìn)水流道的內(nèi)端部位；所述出水流道的外端設(shè)有所述出水孔，出水流道的內(nèi)端鄰近所述中心孔，所述第二工藝孔穿過所述出水流道的內(nèi)端部位。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述進(jìn)水流道包括分別呈環(huán)形的第一進(jìn)水流道和第二進(jìn)水流道，所述第一進(jìn)水流道同心地位于第二進(jìn)水流道的內(nèi)側(cè)，所述第一進(jìn)水流道的一端設(shè)置所述進(jìn)水孔，另一端與第二進(jìn)水流道的一端連通，所述第二進(jìn)水流道的另一端與所述第一工藝孔相連通；所述出水流道包括分別呈環(huán)形的第一出水流道和第二出水流道，所述第一出水流道同心地位于第二出水流道的內(nèi)側(cè)，所述第二出水流道的一端設(shè)置所述出水孔，另一端與第一出水流道的一端連通，所述第一出水流道的另一端與所述第二工藝孔相連通。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述門閥上還均勻地設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔上安裝有捏手螺釘。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述螺紋孔具有四個(gè)，分別位于所述流道的外側(cè)。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述結(jié)構(gòu)門呈圓形。

在優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述門閥呈圓形，所述門芯呈圓環(huán)形。

本發(fā)明實(shí)施例的帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)是：冷卻水從進(jìn)水孔進(jìn)入流道，由于工藝孔與流道連通，且工藝孔的內(nèi)端位于中心孔內(nèi)，使得流道中的冷卻水可通過工藝孔流入中心孔內(nèi)，從而對(duì)安裝在中心孔上的觀察窗進(jìn)行水冷，如此可降低觀察窗的溫度，使玻璃和密封圈等部件的壽命加長(zhǎng)，接著流道中的水經(jīng)過出水孔流出。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明的帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門的主視示意圖；

圖2是本發(fā)明的帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門的側(cè)視剖面示意圖；

圖3是本發(fā)明的帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門的門閥的主視示意圖；

圖4是本發(fā)明的帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門的門閥的側(cè)視剖面示意圖；

圖5是本發(fā)明的帶水冷觀察窗的結(jié)構(gòu)門的門閥的主視剖面示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本文中的“內(nèi)側(cè)”指的是靠近中心(具體指圓心)的一側(cè)，“外側(cè)”指的是遠(yuǎn)離中心(具體指圓心)的一側(cè)。