[發明專利]平面鏡反射面平整度的檢測裝置及其使用方法

無效

• 申請號: 201110428680.3
• 申請日: 2011-12-20
• 公開（公告）號: CN102519405A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 蔣鑫巍;張永安
• 申請（專利權）人: 昆明理工大學
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種平面鏡反射面平整度的檢測裝置，其特征在于：檢測裝置包括激光器（1），擴束鏡（2），針孔（3），準值透鏡（4），分束鏡（5），待測平面鏡（6），屏幕（7）；從左到右依次按直線放置，順序為激光器（1），擴束鏡（2），針孔（3），準值透鏡（4）和分光鏡（5），激光器（1）和擴束鏡（2）兩者共軸，擴束鏡（2）到針孔（3）的距離為擴束鏡（2）的焦距，針孔（3）到準值透鏡（4）的距離為準值透鏡（4）的焦距。

2.根據權利要求1所述的一種平面鏡反射面平整度的檢測裝置，其特征在于：分光鏡（5）的固定角度以及待測平面鏡（6）和屏幕（7）的固定位置，應保證經過平面鏡（6）反射的光路的光程是分光鏡（5）分開的另外一路光路光程的兩倍，同時減小兩路光的夾角。

3.一種平面鏡反射面平整度的裝置的使用方法，其特征在于：首先將一束平行光經過分束鏡（5）后，獲得α和β兩束強度相等的平行光，然后使α光線經過待測平面鏡（6）反射后照射到屏幕（7）上，β光線直接照射到屏幕（7）上，控制α光線的光程，使得α光線的光程為β光線光程的兩倍，兩束光線到達屏幕（7），會發生干涉，形成干涉條紋；同時，根據光的波長以及α與β兩束光的夾角，用理想絕對光滑的平面鏡，利用計算機MATLAB程序在屏幕（7）上模擬生成標準干涉條紋；最后通過所測干涉條紋和屏幕上標準的明暗條紋相比較，根據相似度，判斷鏡面光滑程度的信息。