[發明專利]在碳素鋼或球墨鑄鐵表面制備類金剛石薄膜的方法無效
| 申請號： | 201110426225.X | 申請日： | 2011-12-16 |
| 公開（公告）號： | CN103160794A | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 張俊彥;張斌;楊濤;強力;鄭愉 | 申請（專利權）人： | 中國科學院蘭州化學物理研究所 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方曉佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 碳素鋼 球墨鑄鐵 表面 制備 金剛石 薄膜 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種在碳素鋼或球墨鑄鐵表面制備類金剛石薄膜的方法，其特征在于該方法依次步驟為：
A將碳素鋼或球墨鑄鐵進行常規除油清洗，然后在丙酮和乙醇溶液中依次進行超聲清洗；
B將將碳素鋼或球墨鑄鐵樣品置于多靶濺射真空系統中并預抽真空至2×10-3Pa；
C高頻脈沖磁控濺射粘著層，以金屬Ti靶或Cr靶為陰極，工作氣體為氬氣，沉積時間10～30min；
D反應磁控濺射緩沖層，以金屬靶為陰極，工作氣體為氬氣和甲烷或氬氣和乙烯，沉積時間30～60min；
E反應濺射沉積成分漸變復合類金剛石薄膜，工作氣體為氬氣和甲烷或氬氣和乙烯，沉積時間20～120min；自然冷卻后得到多層類金剛石復合薄膜。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院蘭州化學物理研究所，未經中國科學院蘭州化學物理研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110426225.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
