[發(fā)明專利]交指型共擠設(shè)備及用于沉積包括交指型材料的結(jié)構(gòu)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110425122.1
• 申請(qǐng)日: 2011-12-16
• 公開（公告）號(hào): CN102646752A
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: D·K·福克;K·A·利陶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 帕洛阿爾托研究中心公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L31/0224
• 代理公司: 北京北翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11285
• 代理人: 楊勇;鄭建暉

1.一種共擠設(shè)備，包括：

至少一個(gè)第一入口，用于接收第一材料；

至少一個(gè)第二入口，用于接收第二材料；

第一組合通道，所述第一組合通道被布置為接收所述第一材料和所述第二材料，并將所述第一材料和所述第二材料組合成在一個(gè)第一方向上流動(dòng)的一個(gè)第一組合流；

分裂通道，所述分裂通道被布置為接收所述第一組合流，并將所述第一組合流分裂成在一個(gè)第二方向上的至少兩個(gè)分裂流，所述第二方向至少部分地正交于所述第一方向，其中每個(gè)分裂流是由所述第一材料和所述第二材料組成；

第二組合通道，所述第二組合通道被布置為接收所述分裂流，并將所述分裂流組合成在所述第一方向上的一個(gè)第二組合流；及

至少一個(gè)出口，所述至少一個(gè)出口被布置為允許所述材料作為單個(gè)流流出所述設(shè)備。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共擠設(shè)備，其中所述組合通道還被布置為聚焦所述組合流，以使得所述組合流的橫向延伸量小于該流被組合之前的個(gè)體流的橫向延伸量之和的橫向延伸量。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共擠設(shè)備，其中所述共擠設(shè)備具有多個(gè)分裂通道和多個(gè)組合通道。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的共擠設(shè)備，其中所述出口與一個(gè)最終組合通道流體連通，以允許所述材料作為一個(gè)最終組合流流出所述設(shè)備。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共擠設(shè)備，其中所述設(shè)備中的通道被清掃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共擠設(shè)備，其中所述出口是斜切的。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的共擠設(shè)備，其中所述設(shè)備以相對(duì)于襯底成一個(gè)角度的方式位于所述襯底附近。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共擠設(shè)備，還包括一個(gè)第三入口，用于接收第三材料，所述第一組合通道被布置為接收所述第一材料、所述第二材料和所述第三材料，并將它們組合成所述第一組合流。

9.一種共擠設(shè)備，包括：

第一片材料，所述第一片材料具有至少一個(gè)分離結(jié)構(gòu)陣列以及至少一個(gè)分裂結(jié)構(gòu)陣列，所述分離結(jié)構(gòu)和所述分裂結(jié)構(gòu)具有入口和出口；

第二片材料，所述第二片材料被布置為與所述第一片材料相鄰，所述第二片材料具有至少一個(gè)組合結(jié)構(gòu)陣列以及至少一個(gè)擠壓結(jié)構(gòu)陣列，所述組合結(jié)構(gòu)具有入口和出口；

所述分離結(jié)構(gòu)的出口與所述組合結(jié)構(gòu)的入口對(duì)齊；

所述組合結(jié)構(gòu)的出口與所述分裂結(jié)構(gòu)的入口對(duì)齊；及

所述分裂結(jié)構(gòu)的出口要么與另一組合結(jié)構(gòu)陣列的入口對(duì)齊，要么與一個(gè)擠壓結(jié)構(gòu)陣列的入口對(duì)齊。

10.一種用于沉積包括交指型材料的結(jié)構(gòu)的方法，包括：

將在第一方向上的至少兩個(gè)材料的流合并成一個(gè)第一組合流；

在第二方向上分割所述第一組合流，以產(chǎn)生至少兩個(gè)分離流，其中所述第二方向垂直于所述第一方向；及

將這兩個(gè)分離流合并成一個(gè)第二組合流。