[發明專利]磁阻角度傳感器

有效

• 申請號: 201110420065.8
• 申請日: 2011-12-15
• 公開（公告）號: CN102564471A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: U.奧瑟萊希納
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01D5/14
• 分類號: G01D5/14;G01B7/30
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王岳;王忠忠

1.一種磁阻角度傳感器，包括：

第一多個導體，彼此平行布置在第一平面中以形成第一陣列；

第二多個導體，彼此平行布置在第二平面中以形成第二陣列，所述第二平面與所述第一平面不同且間隔開，并且所述第二多個導體關于所述第一多個導體正交布置；以及

至少一個磁阻元件，安置在所述第一平面與所述第二平面之間。

2.根據權利要求1所述的傳感器，其中所述至少一個磁阻元件從由以下各項構成的組中選擇：各向異性磁阻（AMR）元件、隧穿磁阻元件（TMR）或巨磁阻元件（GMR）。

3.根據權利要求1所述的傳感器，其中所述第一多個導體和所述第二多個導體包括導線。

4.根據權利要求3所述的傳感器，其中所述導線包括鋁或銅中的一個。

5.根據權利要求1所述的傳感器，其中所述第一多個導體彼此串聯連接，而所述第二多個導體彼此串聯連接。

6.根據權利要求5所述的傳感器，其中所述第一多個導體包括第三多個導體，所述第三多個導體與所述第一多個導體串聯連接并布置在與所述第一平面和所述第二平面不同的第三平面中，并且所述第二多個導體包括第四多個導體，所述第四多個導體與所述第二多個導體串聯連接并布置在與所述第一平面、所述第二平面和所述第三平面不同的第四平面中。

7.根據權利要求6所述的傳感器，其中第一多個導體與第三多個導體以及第二多個導體與第四多個導體均通過通孔而串聯連接。

8.根據權利要求1所述的傳感器，其中所述第一平面和所述第二平面平行。

9.根據權利要求8所述的傳感器，其中所述至少一個磁阻元件與所述第一平面和所述第二平面平行布置。

10.根據權利要求1所述的傳感器，其中所述第一多個導體和所述第二多個導體定義了周界，并且其中所述至少一個磁阻元件位于所述周界內。

11.根據權利要求1所述的傳感器，還包括：傳感器電路，被配置為測量在所述第一多個導體或所述第二多個導體中沒有電流的情況下所施加的磁場的第一角度并測量在對所述第一多個導體和所述第二多個導體施加電流的情況下的第二角度。

12.根據權利要求11所述的傳感器，其中所述傳感器電路被配置為根據所述第一角度和所述第二角度來確定所施加的磁場的量值。

13.根據權利要求12所述的傳感器，其中所述傳感器電路被配置為測量在對所述第一多個導體和所述第二多個導體施加關于第一電流符號相反的第二電流的情況下所施加的磁場的第三角度并根據所述第一角度、所述第二角度和所述第三角度來確定所施加的磁場的量值。

14.根據權利要求10所述的傳感器，其中所述傳感器電路被配置為根據所述第一角度和所述第二角度來確定所施加的磁場的角度半空間。

15.根據權利要求10所述的傳感器，其中所述傳感器電路被配置為對所述第一多個導體和所述第二多個導體中的至少一個施加抖動以減小所述傳感器中的磁滯。

16.根據權利要求15所述的傳感器，其中所述抖動包括去磁模式。

17.一種方法，包括：

提供平行導體的第一平面，所述第一平面與平行導體的第二平面間隔開且相對于所述第二平面正交布置；

在所述第一平面與所述第二平面之間提供至少一個磁阻元件；

測量在不對平行導體的第一平面或第二平面施加電流的情況下所施加的磁場的第一角度；以及

測量在對平行導體的第一平面和第二平面施加第一電流的情況下所施加的磁場的第二角度。

18.根據權利要求17所述的方法，還包括：根據所述第一角度和所述第二角度來確定所施加的磁場的量值。

19.根據權利要求17所述的方法，還包括：

測量在對導體的第一平面和第二平面施加關于第一電流符號相反的第二電流的情況下所施加的磁場的第三角度；以及

根據所述第一角度、所述第二角度和所述第三角度來確定所施加的磁場的量值。

20.根據權利要求17所述的方法，還包括：根據所述第一角度和所述第二角度來確定所施加的磁場的角度半空間。