[發明專利]一種光纖壓力傳感器及其制備方法有效
| 申請號： | 201110419923.7 | 申請日： | 2011-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN103162878A | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 黃輝;劉蓬勃;曹暾;唐禎安;渠波;齊振彬;任明坤;劉學宇;吳海波 | 申請（專利權）人： | 黃輝;劉蓬勃;曹暾 |
| 主分類號： | G01L1/24 | 分類號： | G01L1/24;G01L11/02;G01H9/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 116024 遼寧省大連市甘井*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光纖 壓力傳感器 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種光纖壓力傳感器及其制備方法，其特征是：傳感器中光纖的纖芯位置偏離懸膜中軸線，受壓時入射光被弧形懸膜斜反射，從而反射進入光纖的強度可以作為探測的敏感量；利用犧牲層實現彈性薄膜從襯底分離從而獲得彈性懸膜，而彈性懸膜的邊緣仍然和襯底固定在一起。
2.權利要求1所述的懸膜中軸線，是指懸膜未受壓形變時垂直于懸膜且經過懸膜中心的軸線。
3.權利要求1所述的襯底表面具有犧牲層薄膜和彈性薄膜。
4.權利要求1所述的彈性懸膜是通過在襯底背面刻蝕孔洞得到，其中犧牲層起到腐蝕停止層的作用。
5.權利要求1所述的傳感器可以通過將帶有彈性懸膜的襯底表面與光纖套筒粘結在一起得到，其中彈性懸膜與光纖端面之間具有空隙。
6.權利要求1所述的傳感器可以通過將帶有懸膜的襯底背面與光纖對接到一起得到，其中彈性懸膜與光纖端面之間的空隙距離由犧牲層的厚度決定。
7.權利要求5所述的空隙，其間距可以通過控制光纖在套筒中的位置來調節。
8.權利要求1，5和6所述的傳感器，其中的彈性懸膜與光纖端面之間具有空隙，因此懸膜可以在外部壓力作用下發生彈性形變。
9.權利要求1和3所述的襯底和薄膜材料選自有機和無機材料，其中襯底材料優選Si、GaAs和InP，薄膜材料優選Si、SiO2、SiNx、GaAs、InGaP、InGaAsP和InP。
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