[發(fā)明專(zhuān)利]專(zhuān)用于線鋸的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210556851.5
• 申請(qǐng)日: 2012-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103676770A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: N·埃爾·哈達(dá)維
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 應(yīng)用材料瑞士有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): G05B19/18
• 分類(lèi)號(hào): G05B19/18;B28D5/04
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 胡林嶺;侯穎媖

1.一種用于半導(dǎo)體線鋸裝置(100)的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)(10)，所述線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)(10)包含：

傳感器布置(20)，所述傳感器布置(20)經(jīng)配置以鄰近于所述線鋸裝置(100)的線(30)定位，其中所述傳感器布置(20)適合檢測(cè)所述線(30)的彎曲，其中所述傳感器布置(20)包括感應(yīng)傳感器(22)、電容傳感器(22)和接觸傳感器(22)中的至少一個(gè)。

2.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器布置(20)包括多個(gè)傳感器(22)。

3.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器布置(20)包括多個(gè)感應(yīng)傳感器、多個(gè)電容傳感器和多個(gè)接觸傳感器中的至少一個(gè)。

4.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器布置(20)進(jìn)一步包括至少一個(gè)傳感器板(24)，其中所述傳感器(22)以至少兩行安裝至所述傳感器板(24)。

5.如權(quán)利要求4所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器(22)以對(duì)角線圖案定位在所述傳感器板上。

6.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器布置(20)包括多個(gè)感應(yīng)傳感器、多個(gè)電容傳感器和多個(gè)接觸傳感器中的至少一個(gè)，且其中所述傳感器布置(20)進(jìn)一步包括至少一個(gè)傳感器板(24)，其中所述傳感器(22)以對(duì)角線圖案以至少兩行安裝至所述傳感器板(24)。

7.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，至少一個(gè)傳感器可移動(dòng)地布置。

8.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，至少一個(gè)傳感器樞轉(zhuǎn)地布置。

9.如權(quán)利要求2所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器布置進(jìn)一步包括至少一個(gè)可移動(dòng)棒(40)，其中所述傳感器(22)成行安裝至所述棒。

10.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述至少一個(gè)傳感器為數(shù)字傳感器或者模擬傳感器。

11.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

控制單元(50)，所述控制單元(50)適合根據(jù)從所述傳感器布置接收的數(shù)據(jù)而控制所述傳感器布置(20)和所述線鋸裝置中的至少一個(gè)。

12.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

適合改變所述傳感器布置與所述線之間的距離的致動(dòng)器。

13.如權(quán)利要求1所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)一步包括：

適合旋轉(zhuǎn)所述傳感器的致動(dòng)器。

14.一種線鋸裝置，所述線鋸裝置包括如前述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的線彎曲監(jiān)控系統(tǒng)。

15.如權(quán)利要求14所述的線鋸裝置，其特征在于，所述線鋸裝置還包括至少兩個(gè)用于引導(dǎo)所述線的線導(dǎo)向裝置（130）。

16.一種用于監(jiān)控半導(dǎo)體線鋸裝置中線彎曲的方法，所述方法包括：

執(zhí)行線的感應(yīng)測(cè)量、電容測(cè)量和接觸測(cè)量中的至少一個(gè)；

檢測(cè)所述線的彎曲。

17.如權(quán)利要求16所述的用于監(jiān)控線彎曲的方法，其特征在于，根據(jù)從傳感器布置接收的數(shù)據(jù)而控制所述傳感器布置和線鋸裝置中的至少一個(gè)。

18.如權(quán)利要求16所述的用于監(jiān)控半導(dǎo)體線鋸裝置中線彎曲的方法，其特征在于，同步執(zhí)行若干測(cè)量。

19.如權(quán)利要求18所述的用于監(jiān)控半導(dǎo)體線鋸裝置中線彎曲的方法，其特征在于，聯(lián)合評(píng)估所述若干測(cè)量的測(cè)量結(jié)果，以獲得關(guān)于所述線彎曲尺寸的信息。

20.一種用于操作半導(dǎo)體線鋸裝置的方法，所述方法包括：

設(shè)置至少一個(gè)線鋸裝置操作參數(shù)；

借助于線切割工件；

監(jiān)控如權(quán)利要求16至19中任一權(quán)利要求所述的線的線彎曲；和

如果所述線彎曲超過(guò)閾值，則調(diào)整所述至少一個(gè)線鋸裝置參數(shù)。