[發明專利]噴墨頭的制造方法及電極形成方法

有效

• 申請號: 201110418365.2
• 申請日: 2011-12-14
• 公開（公告）號: CN102582261A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 下里正志
• 申請（專利權）人: 東芝泰格有限公司
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16;H01L41/22
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

技術領域

本發明的實施方式涉及噴墨頭的制造方法及電極形成方法。

背景技術

噴墨頭隨著施加電壓而使壓電部件變形，從而噴出油墨。在壓電部件上形成有用于向壓電部件施加電壓的電極。電極可以通過電解鍍(電解メツキ)形成在壓電部件上。

【在先專利文獻】

【專利文獻】

專利文獻1：日本特開2003-341073號公報

作為形成壓電部件的材料，有時使用鉛，有時不使用鉛。不使用鉛的壓電部件一般與使用鉛的壓電部件相比電阻率較小。當通過電解鍍在不使用鉛的壓電部件上形成電極時，恐怕在壓電部件中的不形成電極的區域上會有微電流流過，從而導致析出鍍層。

發明內容

本發明第一方面的噴墨頭的制造方法，通過無鉛壓電部件隨著被施加驅動電壓的變形來噴出油墨，在所述噴墨頭的制造方法中，在所述無鉛壓電部件上形成第一導電圖案，至少在所述無鉛壓電部件中的形成所述第一導電圖案的區域以外的區域形成絕緣層，通過電解鍍在所述第一導電圖案上形成第二導電圖案，從而形成用于施加所述驅動電壓的電極。

附圖說明

圖1是第一實施方式的噴墨頭的截面圖。

圖2是第一實施方式的噴墨頭的截面圖。

圖3是用于說明第一實施方式的噴墨頭的動作的圖。

圖4是用于說明第一實施方式的噴墨頭的動作的圖。

圖5是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。

圖6是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。

圖7是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。

圖8是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。

圖9是表示第一實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。

圖10是油墨供給裝置的概略圖。

圖11是第二實施方式的噴墨頭的外觀圖。

圖12是第二實施方式的噴墨頭的截面圖。

圖13是第二實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。

圖14是第二實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。

圖15是第二實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。

圖16是第二實施方式的噴墨頭的制造工序的圖。

圖17是第三實施方式的噴墨頭的外觀圖。

圖18是第三實施方式的噴墨頭的截面圖。

圖19是表示第三實施方式的壓電部件的驅動部的結構的圖。

圖20是表示第三實施方式的壓電部件的驅動部的形成工序的圖。

圖21是表示第三實施方式的壓電部件的驅動部的形成工序的圖。

圖22是表示第三實施方式的壓電部件的驅動部的形成工序的圖。

圖23是表示第三實施方式的壓電部件的驅動部的形成工序的圖。

具體實施方式

(第一實施方式)

對第一實施方式中的噴墨頭進行說明。

利用圖1和圖2，對噴墨頭1的構造進行說明。圖1是噴墨頭的截面圖。圖2是與圖1的紙面直交的面的噴墨頭的截面圖。

噴墨頭1具有基板10。基板10通過層壓兩個壓電部件11、12而形成。作為壓電部件11的材料，可以使用不含鉛的材料、具體而言可以使用鈮酸系列介電材料。作為鈮酸系列介電材料，例如有鈮酸鈉、鈮酸鉀、鈮酸鈉鉀。作為壓電部件12的材料，可以使用與壓電部件11相同的材料、或也可以使用與壓電部件11的材料不同的材料。

如圖2所示，對兩個壓電部件11、12進行極化處理，兩個壓電部件11、12的極化方向P1、P2彼此不同。箭頭P1的方向是壓電部件11的極化方向，箭頭P2的方向是壓電部件12的極化方向。用電極50覆蓋構成壓力室13的壓電部件11、12。

基板10具有壓力室13。如圖2所示，多個壓力室13沿一個方向排列。壓力室13由壓電部件11、12構成，構成壓力室13的壓電部件11、12相當于驅動部。

在壓力室13的內壁面上形成有電極。電極用于向構成壓力室13的壓電部件11、12施加電壓。形成在壓力室13內壁面上的電極通過形成于基板10表面上的電極與驅動電路連接。驅動電路以規定的驅動模式向壓電部件11、12施加電壓。

框部件20被設置在基板10的表面上，框部件20擋住一部分壓力室13。框部件20具有開口部21，開口部21與壓力室13連接。