[發明專利]一種等離子體腔室內襯結構無效
| 申請號： | 201110413562.5 | 申請日： | 2011-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN103165379A | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 屈芙蓉;李超波;陳瑤;夏洋 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市德權律師事務所 11302 | 代理人： | 劉麗君 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 等離子 體腔 內襯 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種等離子體腔室內襯結構，其特征在于，所述腔室內襯結構包括外部襯體、內部襯體和底部襯體，所述外部襯體通過底部襯體與內部襯體形成空心一體化對稱結構；所述底部襯體均勻的設置有多個長條形狀的排氣孔。
2.如權利要求1所述的等離子體腔室內襯結構，其特征在于，所述外部襯體和內部襯體分別具有向外凸出的上邊沿，所述外部襯體上邊沿與底部襯體之間的距離大于內部襯體上邊沿與底部襯體之間的距離。
3.如權利要求2所述的等離子體腔室內襯結構，其特征在于，所述外部襯體上邊沿均勻的設置有多個螺紋孔和固定孔，所述固定孔用于實現外部襯體與等離子體腔室的固定連接。
4.如權利要求2所述的等離子體腔室內襯結構，其特征在于，所述內部襯體上邊沿均勻的設置有多個固定孔，所述固定孔用于實現內部襯體與等離子體腔室內的靜電卡板或載片臺的固定連接。
5.如權利要求3或4所述的等離子體腔室內襯結構，其特征在于，所述底部襯體所在平面與內部襯體的底面形成90度、45度或60度的夾角。
6.如權利要求1所述的等離子體腔室內襯結構，其特征在于，所述空心一體化對稱結構為空心圓形盆狀結構。
7.如權利要求1所述的等離子體腔室內襯結構，其特征在于，所述空心一體化對稱結構為空心矩形盆狀結構。
8.如權利要求1所述的等離子體腔室內襯結構，其特征在于，所述空心一體化對稱結構為空心錐形盆狀結構。
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