[發(fā)明專利]石墨舟預(yù)處理方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110410720.1
• 申請日: 2011-12-09
• 公開（公告）號: CN103160803A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢明星
• 申請（專利權(quán)）人: 浚鑫科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/34
• 分類號: C23C16/34;C23C16/505;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽能電池制作技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種石墨舟預(yù)處理方法。

背景技術(shù)

在制作太陽能電池的工藝中，等離子體增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD，Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition)鍍減反射膜是非常重要的一道工序，PECVD鍍減反射膜主要是對硅片表面沉積氮化硅薄膜，并對硅片的表面及基體進行鈍化，這道工序的主要目的是減少太陽能電池表面對陽光的反射損失，增加少子壽命，從而提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

PECVD沉積氮化硅是一項早已成熟的工藝方法，石墨舟是硅片沉積氮化硅的載體，石墨舟使用一定次數(shù)后需要進行清洗，但清洗過的石墨舟需對其進行預(yù)處理，這樣才能避免正常生產(chǎn)時大量色差片的產(chǎn)生。現(xiàn)有技術(shù)中預(yù)處理的過程主要是將清洗后的石墨舟烘干，插入硅片，插入硅片后將石墨舟預(yù)沉積，石墨舟沉積上一層氮化硅薄膜后才能應(yīng)用到太陽能電池制作的PECVD過程中，這樣可以避免石墨舟對氮化硅的吸收。在對現(xiàn)有技術(shù)的研究和實踐過程中，本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，石墨舟預(yù)沉積前需要插大量的硅片，不僅增加了預(yù)處理時間，而且在預(yù)沉積的過程中經(jīng)常會碰碎硅片，增加石墨舟預(yù)處理的成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例提供一種石墨舟預(yù)處理方法，可以減少預(yù)處理時間，降低石墨舟的預(yù)處理成本。

一種石墨舟預(yù)處理方法，包括：

將清洗后的石墨舟烘干；

將烘干的石墨舟直接進行預(yù)沉積，得到表面沉積有氮化硅的石墨舟。

本發(fā)明進一步的技術(shù)方案包括：所述將烘干的石墨舟直接進行預(yù)沉積包括：

將烘干的石墨舟直接放入預(yù)沉積設(shè)備中；

測試到所述預(yù)沉積設(shè)備中處于真空狀態(tài)后，向所述預(yù)沉積設(shè)備中通入氨氣和氮氣，持續(xù)通入2～5分鐘；

當(dāng)所述氮氣達到需求量后，向所述預(yù)沉積設(shè)備中繼續(xù)通入氨氣，并同時通入硅烷，持續(xù)通入50～90分鐘。

本發(fā)明進一步的技術(shù)方案包括：所述將烘干的石墨舟直接放入預(yù)沉積設(shè)備中前還包括：

向預(yù)沉積設(shè)備中通入氮氣，使預(yù)沉積設(shè)備開啟，以便放入石墨舟。

本發(fā)明進一步的技術(shù)方案包括：所述向所述預(yù)沉積設(shè)備中通入氨氣和氮氣時還包括：

保持預(yù)沉積設(shè)備中的溫度在450～500攝氏度，并保持氮氣的氣體流量為每分鐘2～6升，氨氣的氣體流量為每分鐘2～4升；

進行射頻處理，射頻處理的功率為3000～7000瓦。

本發(fā)明進一步的技術(shù)方案包括：所述繼續(xù)通入氨氣的氣體流量為每分鐘6～9升，所述通入硅烷的氣體流量為每分鐘0.8～1升。

本發(fā)明進一步的技術(shù)方案包括：所述向所述預(yù)沉積設(shè)備中繼續(xù)通入氨氣，并同時通入硅烷時還包括：

繼續(xù)進行射頻處理，射頻處理的功率為3000～7000瓦。

本發(fā)明進一步的技術(shù)方案包括：預(yù)沉積結(jié)束后，向預(yù)沉積設(shè)備中通入氮氣，當(dāng)內(nèi)外氣壓相同時，取出沉積有氮化硅的石墨舟。

本發(fā)明實施例采用將清洗后的石墨舟烘干；將烘干的石墨舟直接進行預(yù)沉積，得到表面沉積有氮化硅的石墨舟。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實施例提供的石墨舟的預(yù)處理方法，不需要在石墨舟預(yù)沉積前在石墨舟上插入硅片，減少了石墨舟的預(yù)處理時間，而且降低了石墨舟的預(yù)處理成本。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例提供的石墨舟預(yù)處理方法的一實施例示意圖。

具體實施方式

本發(fā)明實施例提供一種石墨舟預(yù)處理方法，可以減少預(yù)處理時間，降低石墨舟的預(yù)處理成本。以下進行詳細(xì)說明。

參閱圖1，本發(fā)明實施例提供的石墨舟預(yù)處理方法的一實施例包括：

101、將清洗后的石墨舟烘干。

石墨舟應(yīng)用于太陽能電池制作工藝中的PECVD過程中，將太陽能電池片放入石墨舟中沉積鍍氮化硅薄膜，為避免石墨舟吸收氮化硅，石墨舟在應(yīng)用前要先對石墨舟進行預(yù)沉積，給石墨舟鍍上一層氮化硅薄膜；

在生產(chǎn)太陽能電池的過程中，石墨舟使用一定次數(shù)后，如150次，就需要進行清洗，清洗時使用氫氟酸，會洗掉石墨舟表面的氮化硅薄膜，這樣清洗后的石墨舟就需要重新進行預(yù)沉積鍍膜；

鍍膜前要先將清洗后的石墨舟放入烘干爐中烘干。

102、將烘干的石墨舟直接進行預(yù)沉積，得到表面沉積有氮化硅的石墨舟。

本發(fā)明實施例提供的石墨舟預(yù)處理方法，不需要插硅片，在清洗后的石墨舟烘干后，直接放入預(yù)沉積設(shè)備中進行預(yù)沉積；