[發明專利]石墨舟預處理方法

無效

• 申請號: 201110410720.1
• 申請日: 2011-12-09
• 公開（公告）號: CN103160803A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 錢明星
• 申請（專利權）人: 浚鑫科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/34
• 分類號: C23C16/34;C23C16/505;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

1.一種石墨舟預處理方法，其特征在于，包括：

將清洗后的石墨舟烘干；

將烘干的石墨舟直接進行預沉積，得到表面沉積有氮化硅的石墨舟。

2.根據權利要求1所述的石墨舟預處理方法，其特征在于：所述將烘干的石墨舟直接進行預沉積包括：

將烘干的石墨舟直接放入預沉積設備中；

測試到所述預沉積設備中處于真空狀態后，向所述預沉積設備中通入氨氣和氮氣，持續通入2～5分鐘；

當所述氮氣達到需求量后，向所述預沉積設備中繼續通入氨氣，并同時通入硅烷，持續通入50～90分鐘。

3.根據權利要求2所述的石墨舟預處理方法，其特征在于：所述將烘干的石墨舟直接放入預沉積設備中前還包括：

向預沉積設備中通入氮氣，使預沉積設備開啟，以便放入石墨舟。

4.根據權利要求2所述的石墨舟預處理方法，其特征在于：所述向所述預沉積設備中通入氨氣和氮氣時還包括：

保持預沉積設備中的溫度在450～500攝氏度，并保持氮氣的氣體流量為每分鐘2～6升，氨氣的氣體流量為每分鐘2～4升；

進行射頻處理，射頻處理的功率為3000～7000瓦。

5.根據權利要求2～4任意一項所述的石墨舟預處理方法，其特征在于：所述繼續通入氨氣的氣體流量為每分鐘6～9升，所述通入硅烷的氣體流量為每分鐘0.8～1升。

6.根據權利要求5所述的石墨舟預處理方法，其特征在于：所述向所述預沉積設備中繼續通入氨氣，并同時通入硅烷時還包括：

繼續進行射頻處理，射頻處理的功率為3000～7000瓦。

7.根據權利要求2所述的石墨舟預處理方法，其特征在于：還包括：

預沉積結束后，向預沉積設備中通入氮氣，當內外氣壓相同時，取出沉積有氮化硅的石墨舟。