[發(fā)明專利]用于光刻的涂料組合物有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110407884.9 | 申請日： | 2007-04-11 |
| 公開（公告）號： | CN102402121A | 公開（公告）日： | 2012-04-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | M·K·噶拉格爾;A·贊皮尼 | 申請（專利權）人： | 羅門哈斯電子材料有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/09;G03F7/11;C09D4/02 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 樊云飛 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 光刻 涂料 組合 | ||
【權利要求書】：
1.一種制備電子器件的方法，包括：
將有機組合物涂布到基底上；
將光致抗蝕劑組合物層涂布在所述有機組合物之上；
其特征在于，所述有機組合物包含一種當熱處理和/或輻射處理時能產(chǎn)生堿溶基團的材料。
2.權利要求1所述的方法，其特征在于，所述有機組合物包含具有對光致酸不穩(wěn)定基團的樹脂。
3.權利要求1所述的方法，其特征在于，所述有機組合物包含具有酸酐基團的樹脂。
4.權利要求1所述的方法，其特征在于，在涂布所述光致抗蝕劑組合物前，對所述有機組合物進行熱處理。
5.一種底層涂層組合物，其包含一種或多種含有對熱不穩(wěn)定或?qū)λ岵环€(wěn)定基團的組分，并且所述組合物至少基本上沒有單獨的交聯(lián)劑組分。
6.權利要求5的涂層組合物，其特征在于，所述組合物包含具有一種或多種發(fā)色基團的組分。
7.權利要求5的涂層組合物，其特征在于，所述組合物包含酸或酸產(chǎn)生體化合物。
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