[發(fā)明專利]硅熔體連續(xù)加注的直拉硅單晶生長(zhǎng)爐及其方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110407848.2
• 申請(qǐng)日: 2011-12-09
• 公開（公告）號(hào): CN102418140A
• 公開（公告）日: 2012-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾澤斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 曾澤斌
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種硅熔體連續(xù)加注的直拉硅單晶生長(zhǎng)爐，其特征在于：生長(zhǎng)爐本體左側(cè)從上到下順次設(shè)有提拉頭(1)、副爐室(2)、隔離閥(4)、爐蓋(21)、爐體(16)、電極(11)、坩堝升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(12)，隔離閥(4)安裝在爐蓋(21)的上方，副爐室(2)安裝在隔離閥(4)的上方，提拉頭(1)安裝在副爐室(2)的上方，爐蓋(21)蓋在爐體(16)上，下部隔熱體(13)安裝在爐體(16)的下部，爐體(16)內(nèi)從底部向上順次安裝隔熱體(10)、上部保溫罩(20)，在穿過爐體(16)底部的電極(11)上安裝加熱器(9)，在下部隔熱體(13)、加熱器(9)、上部保溫罩(20)圍成的空間內(nèi)安裝石墨坩堝(8)，在石墨坩堝(8)內(nèi)安裝坩堝(7)，在坩堝(7)內(nèi)安裝坩堝內(nèi)環(huán)(25)，石墨坩堝(8)、坩堝(7)及坩堝(7)內(nèi)的硅熔體(18)和坩堝內(nèi)環(huán)(25)的重量由安裝在爐體(16)底部下方的坩堝升降旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(12)穿過爐體(16)的底部支撐，副爐室(2)、石墨坩堝(8)、坩堝(7)、坩堝內(nèi)環(huán)(25)、加熱器(9)是同軸布置，副爐室(2)、石墨坩堝(8)、坩堝(7)、坩堝內(nèi)環(huán)(25)、加熱器(9)的軸線相對(duì)爐體(16)的軸線向左偏移，爐體(16)、隔熱體(10)、加熱器(9)均為圓柱形，爐蓋(21)的上方安裝激光液面位置傳感器(23)、直徑控制探頭(22)，爐體(16)的側(cè)壁中部安裝爐體溫度探頭(19)，提拉頭(1)下端設(shè)有鋼絲繩(3)、夾頭(5)；生長(zhǎng)爐本體右側(cè)的爐蓋(21)的上方安裝小爐筒(36)，形狀為圓筒形，在小爐筒?(36)的蓋子上方向上順次安裝隔離閥(38)、加料和稱重裝置(39)、加料倉(cāng)(40)，加料倉(cāng)(40)內(nèi)安裝石英玻璃套(41)，小爐筒?(36)內(nèi)的上部從外向內(nèi)順次安裝隔熱體(37)、加熱器(34)、連續(xù)熔化管(35)，熱電偶(32)穿過小爐筒(36)的側(cè)壁和隔熱體(37)的中部插到隔熱體(37)和加熱器(34)之間，在小爐筒(36)的下部、爐體(16)的右上部和坩堝(7)的右上部，從外到內(nèi)順次安裝隔熱體(28)、加熱器(29)、熔體溫度穩(wěn)定管(30)，熱電偶(27)穿過爐體(16)右上方的側(cè)壁和隔熱體(28)的中部插到加熱器(29)和隔熱體(28)之間，支架(31)安裝在隔熱體(28)上，連續(xù)熔化管(35)、隔熱體(37)安裝在支架(31)上，加料倉(cāng)(40)、隔熱體(37)、加熱器(34)、連續(xù)熔化管(35)、隔熱體(28)、加熱器(29)、熔體溫度穩(wěn)定管(30)同軸，并垂直于水平方向，在爐體(16)的右側(cè)底部下方安裝的電極?(24)和電極(26)穿過爐體(16)的底部和爐體(16)的右側(cè)分別與加熱器(34)和加熱器(29)相連；三組加熱變壓器(14)分別與電極(11)、電極(26)、電極(24)通過加熱電纜相連，控制系統(tǒng)(15)與加熱變壓器(14)、直徑控制探頭?(22)、激光液面位置傳感器(23)、爐體溫度探頭(19)、熱電偶(32)、熱電偶(27)、提拉頭(1)、加料和稱重裝置(39)通過控制電纜相連接。