[發(fā)明專利]制備石墨烯的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110405494.8
• 申請日: 2011-12-08
• 公開（公告）號: CN102491315A
• 公開（公告）日: 2012-06-13
• 發(fā)明（設計）人: 劉云圻;耿德超;武斌;陳建毅;黃麗平;薛運周;郭云龍;于貴
• 申請（專利權）人: 中國科學院化學研究所
• 主分類號: C01B31/04
• 分類號: C01B31/04
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢

1.一種制備石墨烯的方法，包括如下步驟：在流動的無氧無水的氣氛中，將載有銅金屬層的襯底加熱至銅的體相熔點及以上后，向體系中通入含碳化合物進行化學氣相沉積，沉積完畢后在所述銅金屬層的表面得到所述石墨烯。

2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于：所述含碳化合物選自甲烷、一氧化碳、甲醇、乙炔、乙醇、苯、甲苯、環(huán)己烷和酞菁中的至少一種，具體為甲烷、乙炔和甲苯中的至少一種；構成所述襯底的材料選自鎢、鉬、鈦和鉻中的至少一種，具體選自鎢和鉬中的至少一種。

3.根據(jù)權利要求1-2任一所述的方法，其特征在于：所述化學氣相沉積步驟中，溫度為1080-1300℃，具體為1080℃-1120℃，時間為0.5～1000分鐘，具體為5-30分鐘；

所述含碳化合物的流速為0.1-25sccm；

所述化學氣相沉積步驟之中，所述流動的無氧無水的氣氛的流速為1sccm-500sccm，具體為10-300sccm；

所述化學氣相沉積步驟之中，所述流動的無氧無水的氣氛與所述含碳化合物的流速比為1-500∶0.1-25，具體為10∶0.5。

4.根據(jù)權利要求1-3任一所述的方法，其特征在于：所述流動的無氧無水的氣氛為氫氣氣氛；

所述氫氣氣氛與所述含碳化合物的流速比為1-500∶0.1-25，具體為10∶0.5。

5.根據(jù)權利要求4所述的方法，其特征在于：所述氫氣氣氛的流速為1sccm-500sccm，具體為10-300sccm，通入時間為1～1000分鐘，具體為5-30分鐘；所述含碳化合物的流速為0.1-25sccm。

6.根據(jù)權利要求1-5任一所述的方法，其特征在于：所述制備石墨烯的方法還包括如下步驟：向體系中通入惰性氣體。

7.根據(jù)權利要求6所述的方法，其特征在于：所述惰性氣體與所述含碳化合物的流速比為10-1000∶0.1-25，具體為800∶0.5；所述惰性氣體與所述氫氣氣氛的流速比為10-1000∶1-500，具體為800∶10。

8.根據(jù)權利要求7所述的方法，其特征在于：所述惰性氣體的流速為100-1000sccm，所述含碳化合物的流速為0.1-25sccm。

9.權利要求1-8任一所述方法制備得到的石墨烯。

10.根據(jù)權利要求9所述的石墨烯，其特征在于：所述石墨烯具有可控形貌；所述形貌為樹枝狀、花瓣形、齒輪形、圓形、六角形形貌、類方形或尖角六邊形。