[發(fā)明專利]用于執(zhí)行老化測(cè)試的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110392791.3
• 申請(qǐng)日: 2011-12-01
• 公開（公告）號(hào): CN102565570A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 島澤幸司;金子正明;本田隆;麥野遙一;西岡義人;野間亞樹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: TDK株式會(huì)社;羅姆股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/00
• 分類號(hào): G01R31/00;G11B5/127
• 代理公司: 北京北翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11285
• 代理人: 楊勇;鄭建暉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于執(zhí)行老化測(cè)試的方法，所述老化測(cè)試是一種有效用于篩選目標(biāo)元件的帶電測(cè)試。本發(fā)明尤其涉及一種應(yīng)用至包括熱輔助磁記錄的光源的光源單元的老化測(cè)試，以及涉及一種用于執(zhí)行所述老化測(cè)試的測(cè)試裝置。

背景技術(shù)

隨著這些年爆發(fā)的對(duì)因特網(wǎng)的使用，在計(jì)算機(jī)(例如，服務(wù)器和信息處理終端)上存儲(chǔ)和使用比以往大得多的巨量數(shù)據(jù)。預(yù)計(jì)該趨勢(shì)會(huì)加速進(jìn)一步增長(zhǎng)。在這種情況下，對(duì)于磁記錄裝置(例如，作為大容量存儲(chǔ)器的磁盤裝置)的需求正在增長(zhǎng)，以及對(duì)于磁記錄裝置的更高的記錄密度的需求也在逐步上升。

在磁記錄技術(shù)中，有必要使磁頭在磁記錄介質(zhì)上寫入較小的記錄位，從而實(shí)現(xiàn)較高的記錄密度。為了穩(wěn)定地形成較小的記錄位，商業(yè)上已實(shí)施垂直磁記錄技術(shù)，其中垂直于介質(zhì)表面的磁化部件被用作記錄位。此外，積極地發(fā)展了能夠使用具有較高磁化熱穩(wěn)定性的磁記錄介質(zhì)的熱輔助磁記錄技術(shù)。

在熱輔助磁記錄技術(shù)中，使用具有大能量K_U的磁材料形成的磁記錄介質(zhì)，以便穩(wěn)定磁化，然后通過加熱所述介質(zhì)的將要寫入數(shù)據(jù)的一部分，減小該部分的各向異性磁場(chǎng)；緊接著，通過將寫場(chǎng)施加至已加熱部分來執(zhí)行寫入。實(shí)際上，通常使用如下方法，其中使用諸如近場(chǎng)光(NF光)的光來輻射磁記錄介質(zhì)從而加熱磁記錄介質(zhì)。在這種情況下，相當(dāng)重要的是，具有足夠高光輸出的光源應(yīng)當(dāng)被放置在磁頭內(nèi)的哪個(gè)地方、以及如何將具有足夠高光輸出的光源放置在磁頭中，從而在磁記錄介質(zhì)的期望位置處穩(wěn)定地供應(yīng)具有足夠高強(qiáng)度的光。

對(duì)于光源的設(shè)置，例如，美國(guó)專利No.7,538,978B2公開了一種配置，其中包括激光二極管的激光單元被安裝在滑塊(slider)的背面上；公開號(hào)為No.2008/0056073A1的美國(guó)專利公開了一種配置，其中帶有單片集成反射鏡的激光二極管元件的結(jié)構(gòu)被安裝在滑塊的背面上。

本發(fā)明人提出了一種具有“復(fù)合滑塊結(jié)構(gòu)”的熱輔助磁記錄頭，通過將設(shè)有光源的光源單元接合至設(shè)有寫磁頭元件的滑塊的端部面(背面)來構(gòu)成該熱輔助磁記錄頭，所述端部面與所述滑塊的相對(duì)于介質(zhì)的表面相對(duì)。例如，在公開號(hào)為No.2008/043360A1的美國(guó)專利和公開號(hào)為No.2009/052078A1的美國(guó)專利中公開了“復(fù)合滑塊結(jié)構(gòu)”。具有“復(fù)合滑塊結(jié)構(gòu)”的熱輔助磁記錄頭的優(yōu)勢(shì)如下：

a)所述磁頭與傳統(tǒng)的薄膜磁頭制造方法有相似之處，因?yàn)樵谒龌瑝K中相對(duì)于介質(zhì)的表面和元件集成表面相互垂直；

b)由于所述光源被設(shè)置為遠(yuǎn)離所述相對(duì)于介質(zhì)的表面，所以在工作期間，所述光源可避免直接遭受機(jī)械沖擊；以及

c)能夠以縮短的工時(shí)和低成本來制造所述磁頭，因?yàn)椴恍枰獮樗龃蓬^提供要求具有很高精度的光學(xué)部件(例如，透鏡或棱鏡)；或者，不需要為所述磁頭提供具有用于連接光纖等的特殊結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件。

此外，在所述“復(fù)合滑塊結(jié)構(gòu)”中，關(guān)于制造過程中的特性評(píng)估和可靠性評(píng)估可特別指出以下內(nèi)容：

d)光源(例如，激光二極管)和磁頭元件可相互獨(dú)立被評(píng)估；因而可避免用于獲得整個(gè)磁頭的生產(chǎn)合格率降低；然而，在所有光源和磁頭元件都被設(shè)置在滑塊內(nèi)的情況下，由于光源的加工合格率(process?yield)和磁頭元件的加工合格率的乘法關(guān)系，很可能明顯降低了用于獲得整個(gè)磁頭的生產(chǎn)合格率。

在此，為了評(píng)估包括光源(具體而言，激光二極管)的光源單元的可靠性，老化測(cè)試是一種有效的評(píng)估方式。老化測(cè)試涉及使電流通過受驗(yàn)器件(在此為激光二極管)，以測(cè)量和評(píng)估受驗(yàn)器件的特性在高溫導(dǎo)電狀態(tài)中隨時(shí)間的變化，從而篩選出不合格器件。然而，老化測(cè)試花費(fèi)非常長(zhǎng)的時(shí)間，例如每個(gè)激光二極管為幾小時(shí)至幾十小時(shí)。為了解決這個(gè)低效問題，非常有效的是，在光源單元制造過程中，在將被切割成單獨(dú)的光源單元芯片之前，同時(shí)在條水平(bar-level)上評(píng)估多個(gè)激光二極管。通過這樣的并行操作，可一次在許多激光二極管上執(zhí)行老化測(cè)試，從而可顯著縮短執(zhí)行評(píng)估步驟所需的工時(shí)數(shù)和時(shí)間。

然而，使供電探針一次與設(shè)置在單元條上的多個(gè)激光二極管的巨大數(shù)目的電極相接觸是極其困難的。實(shí)際上，當(dāng)通常使用的金屬針被用作探針時(shí)，探針卡(在所述探針卡上豎直設(shè)有大量的針，例如幾百個(gè)針)需要被提供用于單個(gè)單元條的老化測(cè)試。然而，所述針是昂貴的，此外，如果所述卡上的單個(gè)針不能實(shí)現(xiàn)接觸，則所述卡上所有的針都需要被更換，這是非常不經(jīng)濟(jì)的。此外，當(dāng)針與激光二極管的上部電極接觸時(shí)，可能會(huì)向激光二極管施加過度的機(jī)械應(yīng)力。