[發(fā)明專利]一種氦氣循環(huán)冷卻系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110391699.5
• 申請日: 2011-11-30
• 公開（公告）號: CN102425876A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設計）人: 徐力;蔣淵;陳盛云
• 申請（專利權(quán)）人: 上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司
• 主分類號: F25B9/00
• 分類號: F25B9/00;C30B29/20
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

1.一種氦氣循環(huán)冷卻系統(tǒng)，其特征在于，包括：氦氣瓶、過濾減壓單元、低壓緩沖設備、增壓裝置、高壓緩沖設備、待冷卻設備和換熱器，其中：

所述氦氣瓶的輸出端經(jīng)過所述過濾減壓單元與低壓緩沖設備氦氣補給輸入側(cè)連接；

所述換熱器的冷氣輸出端與低壓緩沖設備循環(huán)氣體輸入側(cè)連接；

所述低壓緩沖設備、增壓裝置、高壓緩沖設備依次連接對氦氣并依次進行相應處理；

所述待冷卻設備熱氦氣輸出端與所述換熱器的氣體輸入端連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述氦氣瓶設有兩個，分別為第一氦氣瓶和第二氦氣瓶，所述第一氦氣瓶和第二行氦氣瓶氣體輸出端口分別與一過濾減壓單元連接，其中一個氦氣瓶進行當前供氣，另一個備用。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾減壓單元具體為按照氦氣從所述氦氣瓶中輸出的方向依次連接的減壓閥、壓力表和過濾器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括：連接于所述低壓緩沖設備與所述增壓裝置之間的壓力傳感器。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括：按照氦氣從所述過濾減壓單元到所述低壓緩沖設備氦氣補給輸入側(cè)的方向，在所述過濾減壓單元和所述低壓緩沖設備之間依次連接的補氣閥和單向閥。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述補氣閥具體為氣動閥。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括：按照氦氣從所述高壓緩沖設備到所述待冷卻設備輸入側(cè)的方向，依次連接于所述高壓緩沖設備與所述待冷卻設備之間的質(zhì)量流量計和氣動閥。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括與所述質(zhì)量流量計和氣動閥組合并聯(lián)的備用氣動閥。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述增壓裝置為增壓泵。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述低壓緩沖設備和所述高壓緩沖設備具體為低壓緩沖罐和高壓緩沖罐。