[發(fā)明專利]基于虛擬儀器的注入機控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110391317.9
• 申請日: 2011-11-30
• 公開（公告）號: CN103135509A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王蒙;李勇滔;趙章琰;李超波;夏洋
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01J37/317
• 代理公司: 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 劉麗君

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，特別涉及一種基于虛擬儀器的注入機控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

離子注入是IC制造領(lǐng)域的重要環(huán)節(jié)之一，在太陽能為代表的新能源領(lǐng)域中扮演著重要角色，離子注入機本身是融合了高真空環(huán)境、高壓環(huán)境以及高溫環(huán)境的復(fù)雜系統(tǒng)，尤其特別的是在注入過程中充滿了大量毒性特殊氣體。隨之自動化技術(shù)的發(fā)展和高效率生產(chǎn)的需求下，充分智能的注入機控制系統(tǒng)日益凸顯出了其重要性。

隨著注入機在功能上不斷地趨于復(fù)雜，需要集成多套測量設(shè)備來滿足完整的控制需求，而連接和集成這些不同設(shè)備總是要耗費大量的時間。計算機技術(shù)的飛速發(fā)展，虛擬儀器技術(shù)在自動測試及自動化領(lǐng)域起著越來越重要的角色。面對大量復(fù)雜信號的采集與處理和不同儀器的協(xié)調(diào)控制，虛擬儀器技術(shù)憑借高性能的模塊化硬件，結(jié)合靈活的軟件來完成各種測試、測量和自動化的應(yīng)用。軟件即是儀器是NI公司提出的虛擬儀器理念的核心思想，NI?LabVIEW圖形化開發(fā)工具自1986年問世以來，在產(chǎn)品設(shè)計周期的各個環(huán)節(jié)都得到了充分的應(yīng)用，改善了產(chǎn)品質(zhì)量、縮短了產(chǎn)品的周期，并提高了產(chǎn)品開發(fā)效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單可用于大面積注入的基于虛擬儀器的注入機控制系統(tǒng)。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種基于虛擬儀器的注入機控制系統(tǒng)，包括注入機電源系統(tǒng)、設(shè)置有注入機控制軟件的上位機、反應(yīng)腔室、預(yù)抽腔室；所述上位機通過一數(shù)字輸出控制器控制設(shè)置在反應(yīng)腔室和預(yù)抽腔室之間的真空閥門完成反應(yīng)腔室和預(yù)抽腔室的隔離，并通過所述數(shù)字輸出控制器在所述反應(yīng)腔室和預(yù)抽腔室的氣壓達到所述真空門閥開啟要求時，控制一門閥機械手將硅片穿過所述預(yù)抽腔室送達所述反應(yīng)腔室，并放置在所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置的一下電極，并控制所述下電極的位置；所述上位機通過一串口服務(wù)器控制設(shè)置在所述反應(yīng)腔室的分子泵和調(diào)壓閥，使得反應(yīng)腔室達到高真空度，及在反應(yīng)完成后，控制所述分子泵使反應(yīng)腔室回歸至低真空度。

進一步地，該基于虛擬儀器的注入機控制系統(tǒng)還包括送氣裝置，所述送氣裝置包括氣源、質(zhì)量流量控制器和電磁閥；所述氣源依次通過所述質(zhì)量流量控制器、電磁閥與所述反應(yīng)腔室連接。

進一步地，所述上位機包括實時監(jiān)控模塊，監(jiān)測當(dāng)前控制系統(tǒng)運行狀態(tài)，直觀體現(xiàn)控制系統(tǒng)的當(dāng)前運行狀態(tài)；

工藝控制模塊，選擇欲反應(yīng)的氣體、設(shè)定氣體流量、反應(yīng)時間及吹掃次數(shù)，并控制放片、取片及反應(yīng)過程。

進一步地，所述注入機電源系統(tǒng)包括射頻電源、射頻電源匹配器及脈沖電源；所述脈沖電源與所述反應(yīng)腔室連接；所述射頻電源通過所述射頻電源匹配器與所述反應(yīng)腔室連接。

進一步地，該基于虛擬儀器的注入機控制系統(tǒng)還包括數(shù)據(jù)采集卡，所述數(shù)據(jù)采集卡設(shè)置在所述上位機與反應(yīng)腔室及預(yù)抽腔室之間。

進一步地，所述上位機設(shè)置了NI6299采集卡。

進一步地，所述注入機控制軟件是基于labview的環(huán)境開發(fā)。

本發(fā)明提供的基于虛擬儀器的注入機控制系統(tǒng)信號采集系統(tǒng)整合度高，為控制提供了牢靠的外界條件，結(jié)構(gòu)簡單且可用于大面積的離子注入。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例提供的一種基于虛擬儀器的離子注入機控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式