[發明專利]一種光幕傳感器聯鎖方法

無效

• 申請號: 201110390421.6
• 申請日: 2011-11-25
• 公開（公告）號: CN103135143A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 胡東京
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: G01V8/20
• 分類號: G01V8/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種光幕傳感器聯鎖方法，特別地涉及用于離子注入機中的設備安全和保證人員安全的自動運行方法，屬于半導體設備領域。

背景技術

離子注入機屬于粒子加速器的一種，在離子注入機運轉過程中應保證片庫門和片庫電梯處于正常安全狀態。因為離子注入機工作時，片庫門和片庫電梯處于不斷的開關狀態，如果一旦有障礙物(如未到位晶片)或人員進入片庫附近，有可能會直接壓到障礙物或致傷操作人員。因此對片庫門和片庫電梯的障礙物檢測就顯得非常重要。使設備處于安全狀態，防止事故發生。

發明內容

本發明針對離子注入機的特點而設計的一種簡單且可自動執行的光幕傳感器聯鎖方法。

本發明專利采用如下技術方案來實現：利用光幕傳感器(1)發出傳感器聯鎖信號(2)，給出24VDC的直流電通過K1到左片庫門剎車(3)和K2到左片庫電梯剎車(4)，使他們進入使能狀態，自動導致離子注入機的左庫門和電梯(5)停止一切動作；當光幕傳感器(1)發出傳感器聯鎖信號(2)，給出24VDC的直流電通過K3到右片庫門剎車(6)和K4到右片庫電梯剎車(7)，使他們進入使能狀態，自動導致離子注入機的右庫門和電梯(8)停止一切動作；確保設備片庫門不會壓到障礙物，防止壓壞障礙物，防止片庫門自身受到損傷，避免人員進行調試時造成身體的擠壓傷害。

本發明具有如下顯著優點：

1.利用光幕傳感器，對離子注入機進行自動安全控制，不受人為干預自動進行，可靠性高。

2.此方法具有實時功能，只要光幕傳感器檢測到異常，則自動停止片庫門和片庫電梯，防止意外事故發生，具有很高的安全保證。

3.提高了注入機在工作中的可靠性和安全性。

附圖說明

圖1為光幕傳感器(1)，傳感器聯鎖信號(2)，左片庫門剎車(3)，左片庫電梯剎車(4)，左片庫門和電梯(5)，右片庫門剎車(6)，右片庫電梯剎車(7)，右片庫門和電梯(8)，電腦主界面(9)。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步介紹，但不作為對本發明專利的限定。

本發明專利公開了一種光幕傳感器聯鎖方法，具體技術實施方案來如下：利用光幕傳感器(1)檢測片庫門和片庫電梯處是否有障礙物，根據K1，K2，K3和K4不同的信號，通過傳感器聯鎖信號(2)，實現自動停止左片庫門和電梯(5)，和右片庫門和電梯(8)。

第，左片庫門的光幕傳感器(1)的發射端安裝在的左片庫門上，而接收端相應安裝在其下方；右片庫的光幕傳感器(1)的發射端安裝在右片庫門上，接收端相應安裝在其下方。光幕傳感器(1)發出傳感器聯鎖信號(2)，直接與離子注入機的數據卡連接，并通過電腦主機顯示狀態。

第二，當左片庫門的光幕傳感器(1)發射端的信號，未被接收端收到時，則認為左片庫中有障礙物。一旦發生此情況，傳感器聯鎖信號(2)通過K1將24VDC直流電送至左片庫門剎車(3)，同時通過K2將24VDC直流電送至左片庫電梯剎車(4)。左片庫門剎車(3)和左片庫電梯剎車(4)同時使能，通過壓縮空氣制動左片庫門和電梯(5)

第三，當右片庫門的光幕傳感器(1)發射端的信號，未被接收端收到時，則認為右片庫中有障礙物。一旦發生此情況，傳感器聯鎖信號(2)通過K3將24VDC直流電送至右片庫門剎車(6)，同時通過K4將24VDC直流電送至右片庫電梯剎車(7)。右片庫門剎車(6)和右片庫電梯剎車(7)同時使能，通過壓縮空氣制動右片庫門和電梯(8)。

第四，當左片庫門和電梯(5)、右片庫門和電梯(8)制動的同時，傳感器聯鎖信號(2)將信息送至離子注入及數據采集卡，并通過電腦主界面(9)顯示，直觀的反應片庫內出現的障礙。這樣就使操作人員能夠及時掌握設備信息，避免設備發生損傷，提高了注入機的可靠性和安全性。

本發明的特定實施例已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。