[發明專利]一種對陶瓷膜孔徑進行連續精密調節的方法無效
| 申請號： | 201110377397.2 | 申請日： | 2011-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN102491777A | 公開（公告）日： | 2012-06-13 |
| 發明（設計）人： | 汪勇;李逢彬 | 申請（專利權）人： | 南京工業大學 |
| 主分類號： | C04B38/00 | 分類號： | C04B38/00;B01D71/02 |
| 代理公司： | 南京天華專利代理有限責任公司 32218 | 代理人： | 徐冬濤;袁正英 |
| 地址： | 210009 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 陶瓷膜 孔徑 進行 連續 精密 調節 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種對陶瓷分離膜孔道精密調節的方法，其具體步驟如下：
a將陶瓷分離膜置于原子層沉積儀器反應腔中，抽真空并加熱反應室溫度到250～450℃，使樣品在設定溫度下保持5～30min，反應腔內的氣壓為0.01～10torr；
b首先關閉出氣閥，脈沖金屬源前驅體，時間為0.01～1s，接著保持一段時間0～60s；然后打開出氣閥，脈沖清掃氣，清掃3～15s；再關閉出氣閥，脈沖氧化前驅體0.01～1s，保持一段時間0～60s；最后再打開出氣閥，脈沖清掃氣，清掃3～15s；兩種前驅體的溫度恒定在20～50℃之間；
c根據具體的需要，重復步驟b，精密調節孔道的大小。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于步驟b中所述的金屬源前驅體為三甲基鋁或異丙醇鈦或四氯化鈦；所述的氧化前驅體為去離子水。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于步驟b中所述的清掃氣為氮氣或氬氣。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于步驟c中所述的重復步驟b的次數為10～2000次。
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