[發(fā)明專利]精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110375607.4
• 申請日: 2011-11-23
• 公開（公告）號: CN103133824A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉雅瑋
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽立和測控技術(shù)有限公司
• 主分類號: F16M11/06
• 分類號: F16M11/06;F16M11/18;F16C32/06
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種滑動導(dǎo)軌，特別是涉及一種直線電機驅(qū)動的高精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)

背景技術(shù)

工程上一般應(yīng)用的導(dǎo)軌主要分為滑動式、滾動式和靜壓式三種形式。滑動導(dǎo)軌其運動副之間為滑動摩擦，通常用鑄鐵件制成，鑄鐵件由于其動靜摩擦因數(shù)存在著較大的差異，易產(chǎn)生爬行現(xiàn)象，且容易咬合、磨損，因此使用壽命不長，所以在高精密工作臺的設(shè)計中已經(jīng)很少用到滑動導(dǎo)軌。滾動導(dǎo)軌采用鋼球和滾柱作為滾動體，動靜摩擦系數(shù)差異很小，同時具有較小的摩擦系數(shù)，不會產(chǎn)生爬行現(xiàn)象。但由于滾動導(dǎo)軌中的滾動體和導(dǎo)軌之間為點接觸或線接觸，接觸面積較滑動導(dǎo)軌小，其抗震性較差。

目前，在精密試驗平臺的設(shè)計中，大多采用靜壓導(dǎo)軌，而以氣浮式靜壓導(dǎo)軌為主，氣浮式導(dǎo)軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無污染等優(yōu)點，它常被用在精密運動平臺的設(shè)計中。并且氣浮導(dǎo)軌對溫度和環(huán)境的要求不高，可以在很寬的溫度范圍和惡劣的環(huán)境中工作。

由此可見，上述現(xiàn)有的滑動導(dǎo)軌在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)亦成為當前業(yè)界極需改進的目標。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的滑動導(dǎo)軌存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)，所要解決的技術(shù)問題是使其采用直線電機帶動氣浮導(dǎo)軌作無摩擦平穩(wěn)運動，從而帶動工作臺移動，實現(xiàn)工作臺的高精密定位和移動。

本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)，其中包括：軸承蓋、底座、回轉(zhuǎn)盤、階梯軸，所述的底座安裝在承載平臺上；所述的回轉(zhuǎn)盤設(shè)置在階梯軸上；所述的軸承蓋靠螺釘設(shè)置于底座上，所述的回轉(zhuǎn)盤底部與底座之間設(shè)有鋼球彈簧結(jié)構(gòu)滑動配合連接，該工作臺采用H型閉式氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，回轉(zhuǎn)盤頂部與氣浮導(dǎo)軌連接，實現(xiàn)工作臺的高精密定位和移動。

本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進一步實現(xiàn)。

前述的精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)，其中所述的底座為圓臺狀結(jié)構(gòu)，其底部為凹圓狀，裝設(shè)有軸承蓋其中回轉(zhuǎn)盤與軸承蓋之間靠階梯軸用緊固螺釘連接在一起。

前述的精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)，其中所述的回轉(zhuǎn)盤與階梯軸緊密配合，并用緊固螺釘連接。

前述的精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)，其中所述的階梯軸兩軸肩處安裝有軸承，帶動回轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)。

前述的精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)，其中所述的軸承蓋用螺釘緊固于底座。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。由以上可知，為達到上述目的，本發(fā)明提供了一種精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)，其中包括：軸承蓋、底座、回轉(zhuǎn)盤、階梯軸，所述的底座安裝在承載平臺上；所述的回轉(zhuǎn)盤設(shè)置在階梯軸上；所述的軸承蓋靠螺釘設(shè)置于底座上，所述的回轉(zhuǎn)盤底部與底座之間設(shè)有鋼球彈簧結(jié)構(gòu)滑動配合連接，該工作臺采用H型閉式氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，回轉(zhuǎn)盤頂部與氣浮導(dǎo)軌連接，可以實現(xiàn)工作臺的高精密定位和能實現(xiàn)平穩(wěn)運動。

借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)至少具有下列優(yōu)點及有益效果：采用直線電機直接驅(qū)動工作臺，減少了中間位移轉(zhuǎn)化環(huán)節(jié)的誤差，并利用氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)優(yōu)勢，減少了運功摩擦，導(dǎo)軌采用封閉結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了氣浮力的平衡控制，剛度和承載能力均較大，動態(tài)性能好，實現(xiàn)了工作臺的平穩(wěn)移動。

上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。

附圖說明

圖1是工作臺X-Y雙向調(diào)整結(jié)構(gòu)圖。

圖2是試工作臺被測零件空間位置對測量結(jié)果的影響圖。

圖3是圖2結(jié)構(gòu)示意圖。

1：軸承蓋????2：底座????????3：回轉(zhuǎn)盤

4：軸????????5：緊定螺釘????6：軸承

7：鋼球??????8：彈簧????????9：螺釘

具體實施方式

為更進一步闡述本發(fā)明為達成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的精密氣浮工作臺調(diào)整機構(gòu)其具體實施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細說明如后。

請參閱圖1、圖2、圖3所示，為本發(fā)明的直線電機驅(qū)動的氣浮工作臺示意圖，其中

圖1是工作臺X-Y雙向調(diào)整結(jié)構(gòu)圖的示意圖。

圖2是試工作臺被測零件空間位置對測量結(jié)果的影響圖的示意圖。