[發明專利]放射線檢測裝置和放射線檢測系統

有效

• 申請號: 201110364559.9
• 申請日: 2011-11-17
• 公開（公告）號: CN102540235A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 渡邊實;望月千織;橫山啟吾;川鍋潤;藤吉健太郎;和山弘
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G01T1/20
• 分類號: G01T1/20;A61B6/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 李穎

技術領域

本發明涉及適用于醫療成像裝置、非破壞性測試裝置或使用放射線的分析裝置等的放射線檢測裝置和放射線檢測系統。

背景技術

近年來，薄膜半導體制造技術已被用于由諸如TFT(薄膜晶體管)的開關元件和諸如光電轉換元件的轉換元件的組合實現的檢測裝置或放射線檢測裝置的制作中。日本專利申請公開No.07-027864公開了在由X射線源發射的X射線的入射側設置固態光電檢測器并且在相對側設置閃爍體的放射線檢測裝置。在放射線入射側的相對側設置閃爍體的放射線檢測裝置中的問題中的一個在于，入射到光電檢測器上的放射線經受明顯的散射。用于減少散射的一種方法是使用位于光電檢測器和X射線源之間的放射線掩模或抗散射格子(grid)。但是，外部掩模或格子的使用使入射到光電檢測器上的放射線的水平衰減。用于減少放射線的散射的另一個解決方案是制作具有內置的抗散射格子的光電檢測器。但是，難以確定格子的位置。此外，在日本專利申請公開No.07-027864中，雖然格子的位置要被適當地確定以應對散射的放射線，但是，沒有公開設置用于提高圖像銳度(sharpness)的格子的位置。

發明內容

鑒于以上情況，本發明提供用于在這樣的放射線檢測裝置中有效地去除散射的放射線的技術：在該放射線檢測裝置中，在光電檢測器的放射線入射側的相對側設置閃爍體。在本發明的一個方面中，放射線檢測裝置包括：閃爍體，被配置為將入射的放射線轉換成可見光；光電轉換單元，包含以二維陣列布置于基板上的多個像素，每個像素被配置為將通過閃爍體從入射的放射線轉換的可見光轉換成電信號；以及抗散射格子，包含交替布置的放射線吸收部件和放射線透射部件。格子、基板、光電轉換單元和閃爍體從放射線檢測裝置的放射線入射側到其相對側被依次地設置。

因此，在以上述方式配置的在光電檢測器的放射線入射側的相對側設置閃爍體的放射線檢測裝置中，散射的放射線被有效地去除。

參照附圖閱讀示例性實施例的以下描述，本發明的其它特征將變得清晰。

附圖說明

圖1A和圖1B是根據本發明的實施例的放射線檢測裝置的平面圖和斷面圖。

圖2A和圖2B是根據本發明的實施例的放射線檢測裝置的等效電路圖及其一個像素的斷面圖。

圖3A和圖3B是示出本發明的實施例的概念的斷面圖。

圖4A和圖4B是示出根據本發明的實施例的放射線檢測裝置的制造過程的斷面圖。

圖5A和圖5B是示出根據本發明的實施例的放射線檢測裝置的制造過程、更特別地是安裝抗散射格子的過程的斷面圖。

圖6是示出根據本發明的實施例的放射線檢測裝置的斷面圖。

圖7A～7E是示出根據本發明的實施例的制造放射線檢測裝置的過程的一部分的斷面圖。

圖8是示出根據本發明的實施例的使用放射線檢測裝置的放射線檢測系統的圖。

具體實施方式

以下結合附圖參照實施例進一步詳細地描述本發明。在本說明書中，使用術語“放射線”來描述通過放射性衰變(radioactive?decay)而輻射的諸如α射線、β射線、γ射線等的包含粒子束的各種類型的放射線和具有與粒子束的能量相近的高能量的其它的射束。例如，X射線、宇宙(cosmic)射線等落入在本申請中使用的放射線的范圍內。

第一實施例

首先，以下參照圖1A和圖1B，描述根據本發明的第一實施例的放射線檢測裝置。圖1A和圖1B分別是放射線檢測裝置10(沿斷面標記IB-IB)的平面圖和斷面圖。在放射線檢測裝置10中，光電轉換單元3被設置在具有絕緣表面的諸如玻璃基板的基板2的第一表面側。光電轉換單元3包含以二維陣列布置的用于將通過由以下描述的閃爍體4執行的轉換而獲得的可見光轉換成電信號的多個像素。每個像素包含光電轉換元件和開關元件。注意，基板2和光電轉換單元3被設置為使得放射線從基板2的與第一表面側相對的第二表面側入射到基板2上。以下，對于各元件，上面入射放射線的表面將被稱為第二表面，而與第二表面相對的表面將被稱為第一表面。

印刷電路板7a和7b通過柔性布線板6與基板2的第一表面的端部連接。各種集成電路被安裝在柔性布線板和印刷電路板上。集成電路包含例如用于驅動光電轉換單元3的驅動電路、用于從光電轉換單元3讀取電信號的讀取電路、用于向驅動電路和讀取電路中的至少一個供給電力的電源電路、以及用于控制驅動電路和讀取電路中的至少一個的控制電路等。