[發明專利]一種鍵合合金絲及其生產工藝

有效

• 申請號: 201110362531.1
• 申請日: 2011-11-16
• 公開（公告）號: CN102437136A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 薛子夜;周鋼;趙碎孟
• 申請（專利權）人: 浙江佳博科技股份有限公司
• 主分類號: H01L23/49
• 分類號: H01L23/49;H01L21/48;C22C5/06
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1.一種鍵合合金絲，包括有基材及鍍在基材表面的鍍層，其特征在于基材為總純度≥99.9％的銀材，且銀材中添加有合金元素鈣、鈀、金，鍍層為黃金。

2.根據權利要求1所述的鍵合合金絲，其特征在于上述基材中還添加有銦、鎳、銅、鈰、釔、鋁、鎂。

3.根據權利要求1所述的鍵合合金絲，其特征在于上述基材中添加的每種合金元素鈣、鈀、金的含量為：5-100ppm。

4.根據權利要求1所述的鍵合合金絲，其特征在于上述基材表面鍍有的黃金的膜厚為基材直徑的0.4％-0.8％。

5.根據權利要求4所述的鍵合合金絲，其特征在于上述基材表面鍍有的黃金的膜厚為0.01-0.2微米，基材的直徑大，基材表面鍍有的黃金的膜厚也大，基材的直徑小，基材表面鍍有的黃金的膜厚也小。

6.一種根據權利要求1所述的鍵合合金絲的生產工藝，其特征在于包括如下過程：

1)將銀及合金元素組成的基材進行熔鑄；

2)將熔鑄后的基材進行大拉絲；

3)在大拉絲后的基材表面鍍金；

4)將表面鍍金后的基材進行再拉絲；

5)將上述再拉絲的鍍金基材進行退火工藝處理即得所需鍵合金絲。

7.根據權利要求1所述的鍵合合金絲的生產工藝，其特征在于上述退火工藝后還設置繞線工藝。

8.根據權利要求5所述的鍵合合金絲的生產工藝，其特征在于上述繞線工藝后還設置真空封裝工藝。

9.根據權利要求5所述的鍵合合金絲的生產工藝，其特征在于上述步驟4)的再拉絲工藝包括有中拉、細拉、超微細拉伸。

10.根據權利要求5所述的鍵合合金絲的生產工藝，其特征在于上述步驟5)的退火工藝處理包括有成品退火、性能測試、防氧化氣體保護處理過程。