[發(fā)明專(zhuān)利]一種ITO陶瓷靶制備方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110360722.4
• 申請(qǐng)日: 2011-11-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102491741A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-06-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張?zhí)焓?/a>
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 張?zhí)焓?/a>
• 主分類(lèi)號(hào): C04B35/453
• 分類(lèi)號(hào): C04B35/453;C04B35/622
• 代理公司: 合肥誠(chéng)興知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34109
• 代理人: 湯茂盛

1.一種ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于，包括以下操作：

①以ITO粉為原料，與有機(jī)單體，膠聯(lián)劑、有機(jī)分散劑和水制成懸浮液，并加入引發(fā)劑至所述懸浮液中反應(yīng)得到混合漿料；

②接著將所得的混合漿料注入模具中靜置；

③干燥脫模后在1200-1700℃下燒結(jié)該素坯，即得致密ITO陶瓷靶。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于：所述操作①中分散劑為聚甲基丙烯酸銨或四基氫氧化銨，分散劑占懸浮液質(zhì)量的0.2-1％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于：所述操作①中有機(jī)單體為甲基丙烯酰胺或甲基丙烯酸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于：所述操作①中膠聯(lián)劑為NN-亞甲基雙丙烯酰胺或聚雙甲基丙烯酸，有機(jī)單體與所述的膠聯(lián)劑的質(zhì)量比為2-6∶1。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于：所述操作①中引發(fā)劑為NH₄S₂O₄或偶氮(2-瞇基丙烷)鹽酸鹽，且其加入量為有機(jī)單體質(zhì)量的0.5-1％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于：所述的有機(jī)單體占懸浮液質(zhì)量的15％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于：所述的操作①中ITO粉占懸浮液質(zhì)量的40-50％。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于：所述的ITO粉在制備成懸浮液過(guò)程中分三步加入，每次加入的量分別為ITO粉總質(zhì)量的1/2、1/4、1/4，并且每次加入后使用球磨進(jìn)行排氣處理。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于：所述操作②中靜置溫度為室溫至80℃，時(shí)間1-20小時(shí)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO陶瓷靶制備方法，其特征在于：所述操作③中干燥脫模后以0.1-5℃/min升溫大到300-600℃，并保溫1-5小時(shí)，所述燒結(jié)環(huán)境為富氧。