[發明專利]用于航天器部組件常溫真空檢漏的檢漏系統

有效

• 申請號: 201110344872.6
• 申請日: 2011-11-04
• 公開（公告）號: CN103091052A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 史紀軍;孫立臣;郭海濤;孫立志;張海峰;汪力;齊飛飛
• 申請（專利權）人: 北京衛星環境工程研究所
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于航天器部組件密封性能的無損檢測領域，具體涉及一種常溫下使用的真空檢漏系統，該系統主要用于航天器部組件的檢漏。

背景技術

對于具有密封要求的航天器部組件，密封性能測試是必須進行的測試項目。目前，我國航天器部組件的密封性能測試大都采用真空檢漏的檢漏方法。真空檢漏的標準漏孔通常采用薄膜滲氦型標準漏孔，但是，受到標準漏孔氦氣累積、前級泵類型以及環境氦氣反流等因素的影響，檢漏靈敏度的提高和測試漏率的誤差減小，都受到了一定程度的限制。

發明內容

本發明的目的是減小薄膜滲氦型標準漏孔氦氣累積問題造成的測試漏率誤差，通過減小前級抽氣泵對氦氣的分流比、降低環境氦氣的反流來提高檢漏靈敏度。

一種用于航天部組件常溫真空檢漏的檢漏系統，包括圓柱形真空容器、高真空閥門、高真空檢漏閥門、高真空泵、前級抽氣閥門、前級抽氣泵、前級檢漏閥門、氦質譜檢漏儀、標準漏孔、標準漏孔檢漏閥門、標準漏孔抽氣泵、標準漏孔抽氣閥門和控制單元，真空容器的筒壁上分別連接有高真空閥門和標準漏孔檢漏閥門，高真空閥門的另一端連接有高真空泵，前級抽氣泵通過前級抽氣閥門與高真空泵連接，在高真空閥門和高真空泵之間、高真空泵與前級抽氣閥門之間的抽氣管道上分別通過高真空檢漏閥門、前級檢漏閥門與氦質譜檢漏儀連接；標準漏孔檢漏閥門的另一端與標準漏孔之間設置四通真空接口，四通真空接口的四接口分別連接標準漏孔檢漏閥門、標準漏孔抽氣閥門、標準漏孔和標準漏孔放氣閥門，標準漏孔抽氣泵通過標準漏孔抽氣閥門與四通真空接口連接，標準漏孔放氣閥門的另一端連接環境大氣，其中，高真空閥門、高真空檢漏閥門、高真空主泵、前級檢漏閥門、前級抽氣閥門、前級抽氣泵、標準漏孔檢漏閥門、標準漏孔抽氣泵、標準漏孔檢漏閥門通過供電電纜與控制單元連接，氦質譜檢漏儀通過供電電纜和測試電纜與控制單元連接。

優選地，前級抽氣泵的類型為螺桿干泵。

優選地，前級抽氣閥門、高真空檢漏閥門、前級抽氣閥門、前級檢漏閥門、標準漏孔檢漏閥門、標準漏孔抽氣閥門的類型為常閉電磁真空閥門。

優選地，標準漏孔放氣閥門的類型為常開電磁真空閥門。

進一步地，氦質譜檢漏儀可以通過高真空檢漏閥門或者前級檢漏閥門兩種方式接入檢漏系統。

進一步地，控制單元可以手動和自動控制高真空檢漏閥門、前級檢漏閥門、標準漏孔檢漏閥門和標準漏孔抽氣閥門的開啟和關閉。

進一步地，標準漏孔為薄膜滲氦型標準漏孔。

本發明具有以下有益效果：①前級抽氣泵采用螺桿干泵，可以在保持前級真空度的前提下，減小前級泵對氦氣的分流比，進而提高檢漏靈敏度。②前級抽氣閥門、高真空檢漏閥門、前級檢漏閥門、標準漏孔檢漏閥門和標準漏孔抽氣閥門的類型為電磁真空閥門，有利于檢漏系統自動校準功能的實現。③在高真空閥門和高真空泵之間設置高真空檢漏閥門，在環境氦氣濃度較高時，可以保證檢漏系統的靈敏度不降低。④在標準漏孔和標準漏孔檢漏閥門之間設置標準抽氣閥門、標準漏孔放氣閥門和標準漏孔抽氣泵，可以消除薄膜滲氦型標準漏孔的氦氣累積問題。⑤旋片泵在消除薄膜滲氦型標準漏孔氦氣累積問題上，具有真空度性能和經濟型的雙重優勢。⑥控制單會可以實現檢漏系統的自動校準功能。

附圖說明

圖1是本發明航天器部組件常溫真空檢漏的檢漏系統的儀器設備連接示意圖。

圖2是本發明航天器部組件常溫真空檢漏的檢漏系統的控制連接示意圖。

圖中：1-真空容器；2-標準漏孔檢漏閥門；3-標準漏孔放氣閥門；4-四通真空接口；5-標準漏孔；6-標準漏孔抽氣閥門；7-標準漏孔抽氣泵；8-高真空閥門、9-高真空泵；10-前級抽氣閥門；11-前級抽氣泵；12-前級檢漏閥門；13-氦質譜檢漏儀；14-高真空檢漏閥門；15-供電電纜；16-測試電纜；17-控制單元。

具體實施方式

以下參照附圖對本發明進行詳細說明，但附圖僅未示例的目的，并不旨在對本發明的保護范圍進行任何限制，其范圍由所附的權利要求書進行限定。