[發(fā)明專利]可實現(xiàn)氮化物晶體同質(zhì)外延的氣相外延沉積裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110341401.X | 申請日： | 2011-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN103088414A | 公開（公告）日： | 2013-05-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 甘志銀 | 申請（專利權）人： | 甘志銀 |
| 主分類號： | C30B25/10 | 分類號： | C30B25/10;C30B29/40 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人： | 李平 |
| 地址： | 528251 廣東省佛山*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 實現(xiàn) 氮化物 晶體 同質(zhì) 外延 沉積 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種可實現(xiàn)氮化物晶體同質(zhì)外延的氣相外延沉積裝置，包括：一金屬氯化物供應腔和一金屬有機化合物氣相外延反應腔其中：金屬氯化物供應腔外部設有加熱裝置和通入氯化氫反應氣體或者氫氣或氮氣為載氣的通氣管道，內(nèi)部設有一承載金屬源的石英舟，該金屬氯化物供應腔還設有反應氣體及載氣通道，金屬有機化合物氣相外延反應腔上部設有一個反應氣體進氣裝置，氣相外延反應腔下部設有一放置襯底材料的載片盤，載片盤下方和上方設有調(diào)節(jié)反應腔內(nèi)部溫度梯度分布的加熱裝置。
2.根據(jù)權利要求1所述的氮化物晶體同質(zhì)外延的氣相外延沉積裝置，其中金屬有機化合物氣相外延反應腔內(nèi)載片盤上方的加熱裝置由耐高溫材料制造。
3.根據(jù)權利要求1所述的氮化物晶體同質(zhì)外延的氣相外延沉積裝置，其中金屬有機化合物氣相外延反應腔內(nèi)載片盤上方的加熱裝置的加熱元件為行列式網(wǎng)狀布置。
4.根據(jù)權利要求1所述的氮化物晶體同質(zhì)外延的氣相外延沉積裝置，其中金屬有機化合物氣相外延反應腔內(nèi)載片盤上方的加熱裝置放置在氣相外延沉積反應腔內(nèi)反應氣體進氣裝置與載片盤之間。
下載完整專利技術內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于甘志銀，未經(jīng)甘志銀許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110341401.X/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：多傳感器集成電路設備
- 下一篇：打撈工具和方法
- 互動業(yè)務終端、實現(xiàn)系統(tǒng)及實現(xiàn)方法
- 街景地圖的實現(xiàn)方法和實現(xiàn)系統(tǒng)
- 游戲?qū)崿F(xiàn)系統(tǒng)和游戲?qū)崿F(xiàn)方法
- 圖像實現(xiàn)裝置及其圖像實現(xiàn)方法
- 增強現(xiàn)實的實現(xiàn)方法以及實現(xiàn)裝置
- 軟件架構(gòu)的實現(xiàn)方法和實現(xiàn)平臺
- 數(shù)值預報的實現(xiàn)方法及實現(xiàn)系統(tǒng)
- 空調(diào)及其冬眠控制模式實現(xiàn)方法和實現(xiàn)裝置以及實現(xiàn)系統(tǒng)
- 空調(diào)及其睡眠控制模式實現(xiàn)方法和實現(xiàn)裝置以及實現(xiàn)系統(tǒng)
- 輸入設備實現(xiàn)方法及其實現(xiàn)裝置
