[發明專利]硅片夾具結構

無效

• 申請號: 201110339456.7
• 申請日: 2011-11-01
• 公開（公告）號: CN102407573A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 吳堅
• 申請（專利權）人: 無錫泰立特科技有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 劉瑞平

技術領域

本發明涉及硅片清洗工裝領域，具體為硅片夾具結構。

背景技術

硅棒膠粘于連接件，通過連接件固定于切割機，然后進行硅片的切割，切割完成后需要將硅片進行清洗，此時已切割好的硅片仍膠粘于連接件上，以往是將切割好的硅片與連接件一起人工搬運至清洗工位，工作效率低，且在搬運過程中的碰撞會導致硅片的損壞。現在業內用的硅片夾具結構如圖1所示，其包括加強板6，加強板6橫向兩端分別對稱安裝有彎板3，彎板3的縱向兩端分別焊接有圓桿1，圓桿1兩端套裝有限位環7；加強板6中心部位開有螺孔，螺孔內設置有螺釘5，螺釘5上部設置有銷4；螺釘5通過螺母8固定。2為把手，?9為連接件，10為硅片。但是圓桿1直接焊接在彎板3上，一旦工作時，整個機構的重量就直接作用在圓桿和彎板的焊點上，一般來說硅片柱的重量很大，這樣焊接處容易松動剝落，導致發生安全事故。

發明內容

針對上述現有硅片夾具的缺點，本發明提供了硅片夾具結構，其能夠有效解決夾具結構由于承重過大而出現焊點松動剝落問題，從而避免安全事故發生。

其具體技術方案是這樣的：硅片夾具結構，其包括加強板，所述的加強板兩端對稱安裝有彎板，所述的彎板縱向兩端分別安裝有圓桿，所述的圓桿兩端套裝有限位環；所述的加強板中心處開有螺孔，所述的螺孔內設置有螺釘，所述的螺釘上部設置有銷，所述的螺釘通過螺母固定，其特征在于：所述的彎板壁內與所述的圓桿相接處設置有軸承，所述的圓桿通過所述的軸承貫穿安裝在所述的彎板上。

本發明采用上述結構，圓桿通過軸承安裝于彎板，這樣在機構行進中，整個機構的重量壓在軸承上，而軸承安裝于彎板壁體內，這樣就不會出現原有夾具焊點剝落情況，有效杜絕安全事故發生。

附圖說明

圖1為原有硅片夾具結構使用示意圖；

圖2為本發明結構使用主視示意圖；

圖3為本發明結構使用俯視示意圖。

具體實施方式

如圖2，圖3所示，本發明包括加強板6，加強板6兩端對稱安裝有彎板3，彎板3縱向兩端安裝有圓桿1，圓桿1兩端套裝有限位環7；加強板6中心處開有螺孔，螺孔內設置有螺釘5，螺釘5上部設置有銷4，螺釘5通過螺母8固定，彎板3壁內與圓桿1相接處設置有軸承11，圓桿1通過軸承11貫穿安裝在彎板3上。圖1為原有硅片夾具結構使用示意圖，圖中2為把手，9為連接件，10為硅片。

硅棒切割成硅片后，連接件9仍與硅片10上部固定，將連接件9卡接入加強板6與其兩端彎板3形成的空腔內，旋轉銷4帶動螺釘5頂緊連接件9，鎖緊螺母8，在輸送過程中，結構兩端的圓桿1擱置于行進機構上，由行進機構將已切割好的硅片送到清洗工位，圓桿1上的限位環7控制結構不易走偏。