[發(fā)明專利]檢查裝置和基板的定位方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110332017.3
• 申請日: 2011-10-27
• 公開（公告）號: CN102456602A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發(fā)明（設計）人: 辻治之;木內(nèi)智一
• 申請（專利權(quán)）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/66;B65G49/06
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種檢查裝置，其特征在于，包括：

輸送臺，其具有用于支承基板并以沿輸送方向輸送該基板的方式進行旋轉(zhuǎn)的輥；

驅(qū)動機構(gòu)，其用于使上述基板沿上述輸送方向移動；

定位構(gòu)件驅(qū)動部，其設置于上述輸送臺的靠上述基板的輸入側(cè)的端部側(cè)，用于保持與上述基板抵接的定位構(gòu)件并使該定位構(gòu)件向上述輸送方向移動；

端面檢測部，其用于檢測上述基板的與上述輸送方向平行的方向的端面；

檢查部，其用于根據(jù)上述端面檢測部所檢測出的端面的信息來進行上述基板的檢查；以及

基準構(gòu)件驅(qū)動部，其設置于上述檢查部和上述定位構(gòu)件驅(qū)動部之間，用于保持與上述基板抵接的基準構(gòu)件并驅(qū)動該基準構(gòu)件而使該基準構(gòu)件升降。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述定位構(gòu)件呈大致圓柱狀，并能夠繞該圓柱的中心軸線旋轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述基準構(gòu)件的比至少與上述基板抵接的區(qū)域靠上方的部位朝向上述輸送方向的前方傾斜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述驅(qū)動機構(gòu)具有用于吸附保持上述基板的吸盤。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的檢查裝置，其特征在于，

上述基準構(gòu)件設置有多個，

上述定位構(gòu)件相對于多個上述基準構(gòu)件中的位于上述輸送臺的寬度方向的最外緣側(cè)的基準構(gòu)件位于上述寬度方向的內(nèi)部側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

上述定位構(gòu)件驅(qū)動部用于驅(qū)動上述定位構(gòu)件而使上述定位構(gòu)件升降。

7.一種基板的定位方法，其是檢查裝置的基板的定位方法，該檢查裝置具有用來進行基板的檢查的檢查部、以及用于載置上述基板而輸送該基板的輸送部，其特征在于，上述基板的定位方法包括：

輸入步驟，向輸送臺輸入上述基板，該輸送臺具有用于沿輸送上述基板的輸送方向旋轉(zhuǎn)的輥；

定位構(gòu)件驅(qū)動步驟，驅(qū)動定位構(gòu)件，該定位構(gòu)件設置于上述輸送臺的靠上述基板的輸入側(cè)的端部側(cè)并用于與上述基板抵接；

基板固定步驟，利用基準構(gòu)件以及上述定位構(gòu)件來夾持固定上述基板，該基準構(gòu)件設置于上述檢查部和上述定位構(gòu)件驅(qū)動部之間并用于與上述基板抵接；以及

端面檢測步驟，對利用上述基板固定步驟固定的上述基板的與上述輸送方向平行的方向的端面進行檢測。