[發(fā)明專利]銅靶材坯塊的檢測(cè)方法及銅靶材組件的形成方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110328435.5
• 申請(qǐng)日: 2011-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN102393420A
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;陳勇軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號(hào): G01N29/04
• 分類號(hào): G01N29/04
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，包括：

提供銅靶材坯塊，所述銅靶材坯塊材質(zhì)為超高純銅；

對(duì)所述銅靶材坯塊進(jìn)行超聲波檢測(cè)，其中，所述超聲波的頻率為5～20MHz。

2.如權(quán)利要求1所述的銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，所述超聲波的頻率為15MHz。

3.如權(quán)利要求2所述的銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，對(duì)所述銅靶材坯塊進(jìn)行超聲波檢測(cè)是用超聲波探傷儀對(duì)所述銅靶材坯塊進(jìn)行檢測(cè)。

4.如權(quán)利要求3所述的銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，在對(duì)所述銅靶材坯塊進(jìn)行超聲波檢測(cè)前還包括：用超聲波探傷儀對(duì)所述銅靶材坯塊的標(biāo)準(zhǔn)試樣進(jìn)行檢測(cè)。

5.如權(quán)利要求4所述的銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，所述用超聲波探傷儀對(duì)所述銅靶材坯塊的標(biāo)準(zhǔn)試樣進(jìn)行檢測(cè)包括：計(jì)算所述銅靶材坯塊的標(biāo)準(zhǔn)試樣的缺陷率；在計(jì)算所得的缺陷率超出預(yù)設(shè)范圍時(shí)調(diào)整超聲波探傷儀的感度。

6.如權(quán)利要求5所述的銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)試樣的缺陷率的預(yù)設(shè)范圍設(shè)定為2.57％-2.77％，所述超聲波探傷儀的感度為55～60dB。

7.如權(quán)利要求3所述的銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，所述超聲波檢測(cè)是以水為介質(zhì)。

8.如權(quán)利要求7所述的銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，所述超聲波探傷儀包括發(fā)送超聲波和接收超聲波反射的超聲波探頭，所述超聲波探頭伸入水中的深度為6～10mm。

9.如權(quán)利要求7所述的銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，所述超聲波探傷儀還包括對(duì)所述超聲波進(jìn)行濾波的過濾器，所述過濾器的頻率為5MHz。

10.如權(quán)利要求7所述的銅靶材坯塊的檢測(cè)方法，其特征在于，所述超聲波探傷儀還包括帶動(dòng)超聲波探頭進(jìn)行移動(dòng)的超聲波探頭架，所述超聲波探頭架與銅靶材坯塊頂面的距離為55mm。

11.一種銅靶材組件的形成方法，其特征在于，包括：

利用權(quán)利要求1至10任一項(xiàng)所述的檢測(cè)方法對(duì)銅靶材坯料進(jìn)行檢測(cè)；

對(duì)合格的銅靶材坯料進(jìn)行加工以形成銅靶材；

將銅靶材焊接至背板，形成銅靶材組件。

12.如權(quán)利要求11所述的形成方法，其特征在于，所述加工包括切割、塑性成型中的至少一種。