[發(fā)明專利]版圖二劃分方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110328029.9
• 申請(qǐng)日: 2011-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN102521425A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡懿慈;姚海龍;鄧超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): G06F17/50
• 分類號(hào): G06F17/50
• 代理公司: 北京中偉智信專利商標(biāo)代理事務(wù)所 11325
• 代理人: 張岱

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種版圖二劃分方法。

背景技術(shù)

在主流微電子制造過(guò)程中，光刻是不可缺少的工藝，也是最復(fù)雜、最昂貴和最關(guān)鍵的工藝。集成電路制造過(guò)程中，往往需要采用幾十道光刻工序。目前，集成電路制造工藝的主流技術(shù)是采用紫外線包括遠(yuǎn)紫外線為光源的光刻技術(shù)。隨著芯片向體積更小，密度更大的方向發(fā)展，光刻技術(shù)也受到了新的挑戰(zhàn)。對(duì)于32nm/22nm的版圖，由于圖形尺寸過(guò)小，密度過(guò)大，在現(xiàn)有的光刻技術(shù)下會(huì)使光刻膠上的圖形發(fā)生形變，嚴(yán)重影響芯片制造的質(zhì)量。新的光刻技術(shù)包括超紫外線技術(shù)和浸入氟化氬技術(shù)不論是從工藝上還是從制作成本上都還沒有比較好的前景。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述的缺陷，本發(fā)明提供一種效果良好的版圖二劃分方法。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明版圖二劃分方法將版圖中圖形間距小于最小光刻距離的圖形劃分成為兩個(gè)子版圖，通過(guò)兩次光刻刻蝕得到版圖圖形；當(dāng)分成為兩個(gè)子版圖后所述子版圖中圖形間距仍小于最小光刻距離時(shí)，將版圖中圖形分割成至少兩個(gè)子圖形，以所述子圖形為單位將間距小于最小光刻距離的子圖形劃分為兩個(gè)子版圖，通過(guò)兩次光刻刻蝕在基片上得到版圖圖形；將無(wú)法用分割的方法得到子版圖的版圖區(qū)域進(jìn)行標(biāo)注。

特別是，所述方法包括下述步驟：

將版圖中的多邊形和矩形信息存入OpenAccess平臺(tái)的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中；

將存貯的多邊形按序劃分得到至少一個(gè)矩形；

計(jì)算兩矩形間的間距值，當(dāng)所述間距值小于最小光刻距離時(shí)判定所述兩矩形所在多邊形存在沖突關(guān)系，形成沖突圖；

在存在沖突關(guān)系的多邊形上通過(guò)幾何計(jì)算得到切割保護(hù)層信息，所述切割保護(hù)層是所述多邊形邊緣上所有與其它多邊形間距離小于最小光刻距離的點(diǎn)的集合；

將所述沖突圖劃分成為多個(gè)沖突子圖；

在多邊形上確定切割位置；

沿所述切割位置形成分割邊；

在所述沖突圖中確定無(wú)法分割的區(qū)域，并標(biāo)注；

生成翻轉(zhuǎn)圖；

通過(guò)對(duì)所述翻轉(zhuǎn)圖的計(jì)算得到劃分結(jié)果。

特別是，所述多邊形劃分得到至少一個(gè)矩形所按的順序?yàn)槟鏁r(shí)針順序或順時(shí)針順序。

特別是，沖突圖通過(guò)廣度優(yōu)先搜索算法劃分成為多個(gè)沖突子圖。

進(jìn)一步，沖突子圖的劃分步驟包括：任選沖突圖中一個(gè)圖形形成沖突子圖，通過(guò)廣度優(yōu)先搜索算法將由沖突邊連接起來(lái)的圖形加入到所述沖突子圖中，當(dāng)所述沖突子圖中的所有圖形與所述沖突子圖外的圖形之間沒有沖突關(guān)系時(shí)沖突子圖形成完畢。

特別是，在多邊形上確定切割位置的條件包括：所述切割位置不能穿過(guò)所述切割保護(hù)層；以及所述切割位置處的重疊長(zhǎng)度不小于最小光刻距離，所述重疊長(zhǎng)度是指被切割生成的新矩形在不引入新的沖突邊的情況下可向外延伸的最大長(zhǎng)度。

特別是，生成翻轉(zhuǎn)圖的依據(jù)是翻轉(zhuǎn)增益，所述翻轉(zhuǎn)增益為節(jié)點(diǎn)集合內(nèi)部圖形顏色翻轉(zhuǎn)后與翻轉(zhuǎn)前的實(shí)際切割點(diǎn)數(shù)目的差值。

特別是，由所述翻轉(zhuǎn)圖得到劃分結(jié)果的計(jì)算方法是整數(shù)線性規(guī)劃方法，目標(biāo)函數(shù)(最大化)：max∑a_i，j

其中，約束條件為：

如果fg_i，j≥0，約束條件為

a_i，j≤fg_i，j(2-x_i-x_j)

a_i，j≤fg_i，j(x_i+x_j)

a_i，j∈{0，1}

如果fg_i，j＜0，約束條件為

a_i，j≤fg_i，j(x_i-x_j)

a_i，j≤fg_i，j(x_j-x_i)

a_i，j∈{0，1}

其中，x_i為節(jié)點(diǎn)簇c_i的頭節(jié)點(diǎn)所屬于的顏色，fg_i，j為節(jié)點(diǎn)簇c_i和節(jié)點(diǎn)簇c_j之間的翻轉(zhuǎn)增益，a_i，j是最終實(shí)現(xiàn)的翻轉(zhuǎn)增益。