[發(fā)明專利]沿垂直平面延伸的緊湊立式電感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110324367.5
• 申請日: 2011-10-19
• 公開（公告）號: CN102751260A
• 公開（公告）日: 2012-10-24
• 發(fā)明（設計）人: 顏孝璁;陳煥能;林佑霖;郭晉瑋;陳美秀;陳和祥;鄭敏祺
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H01L23/522
• 分類號: H01L23/522;H01F37/00
• 代理公司: 北京德恒律師事務所 11306
• 代理人: 陸鑫;高雪琴

1.一種器件，包括：

襯底；以及

立式電感器，所述立式電感器在所述襯底上，并且包括：

金屬形成的多個部件，其中每個所述部件沿垂直于所述襯底的主表面的多個平面之一延伸；以及

金屬線，所述金屬線使所述多個部件中相鄰部件互連。

2.根據(jù)權利要求1所述的器件，其中所述多個平面相互平行，或者

所述多個部件中每個包括：

第一金屬層中的第一金屬線；

第二金屬線，所述第二金屬線在第一金屬層上的第二金屬層中，并且垂直地層疊所述第一金屬線；以及

兩個金屬柱，所述金屬柱使所述第一金屬線和所述第二金屬線互連，并且與所述第一金屬線和所述第二金屬線形成準環(huán)結構，其中所述準環(huán)結構包括其中的間斷。

3.根據(jù)權利要求1所述的器件，其中所述多個部件中每個包括螺旋金屬部件，其中所述螺旋金屬部件的外部環(huán)繞所述螺旋金屬部件的內部，

其中所述多個部件包括：

第一部件，所述第一部件包括第一螺旋金屬部件；以及

第二部件，所述第二部件與所述第一部件相鄰，并且包括第二螺旋金屬部件，其中所述第一部件和所述第二部件設置成使從所述第一螺旋金屬部件的外部流至內部的電流和從所述第二螺旋金屬部件內部流至外部的電流相同。

4.根據(jù)權利要求1所述的器件，其中所述多個部件中每個包括矩形結構，所述矩形結構包括具有在所述矩形結構中的間斷的金屬環(huán)，并且其中所述多個部件中每個不包括在所述矩形結構內部的并且與所述矩形結構電連接的部分，

其中所述電感器進一步包括：

附加立式電感器，所述附加立式電感器在所述襯底上，并且包括：

金屬形成的多個附加部件，其中每個所述附加部件沿垂直于所述襯底的主表面的多個附加平面之一延伸；以及

附加金屬線，所述附加金屬線使所述多個附加部件中相鄰部件互連，其中所述立式電感器和所述附加立式電感器互連以形成單獨的電感器。

5.一種器件，包括：

襯底；

在所述襯底上的多個金屬層；以及

立式電感器，所述立式電感器包括：

金屬形成的多個部件；

所述多個部件的每個中的螺旋金屬部件，其中所述螺旋金屬部件包括所述多個金屬層中的多個金屬線以及使所述多個金屬線互連的多個通孔，并且其中所述螺旋金屬部件沿垂直于所述襯底的主表面的垂直平面延伸；以及

金屬線，所述金屬線使所述多個部件互連。

6.根據(jù)權利要求5所述的器件，其中所述多個部件的所述螺旋金屬部件的軸沿平行于所述襯底的主表面的方向延伸。

7.根據(jù)權利要求5所述的器件，其中所述多個部件包括：

第一部件，所述第一部件包括第一螺旋金屬部件；以及

第二部件，所述第二部件與所述第一部件相鄰，并且包括第二螺旋金屬部件，其中所述第一部件和所述第二部件設置成使從所述第一螺旋金屬部件的外部流至內部的電流與從所述第二螺旋金屬部件的內部流至外部的電流相同，或者

所述多個部件包括第一部件、第二部件以及在所述第一部件相對側上的第三部件，并且其中所述器件進一步包括：

第一金屬線，所述第一金屬線連接所述第一部件和所述第二部件；以及

第二金屬線，所述第二金屬線連接所述第二部件和所述第三部件，其中所述第一金屬線和所述第二金屬線的縱向方向平行于所述襯底的主表面，或者

其中，所述多個部件的垂直平面相互平行。

8.一種器件，包括：

襯底；以及

第一立式電感器，所述第一立式電感器在所述襯底上，并且包括金屬形成的第一線圈，其中所述第一線圈的第一軸沿平行于所述襯底的主表面的第一方向延伸。