[發明專利]一種調焦調平裝置有效
| 申請號： | 201110321960.4 | 申請日： | 2011-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN102778822A | 公開（公告）日： | 2012-11-14 |
| 發明（設計）人： | 劉廣義;齊月靜;王宇;周翊 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電研究院 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 周長興 |
| 地址： | 100094*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 調焦 平裝 | ||
【權利要求書】：
1.一種調焦調平裝置，由照明系統、成像系統和探測系統組成，其中：
成像系統中包括有第一偏振片、1/4波片和SAVART板組成的起偏光路，由該起偏光路將接收到的硅片反射光分成兩束偏振方向垂直，空間上錯開半個周期的兩幅圖像。
2.根據權利要求1所述的調焦調平裝置，其中，照明系統為遠心科勒照明系統。
3.根據權利要求1所述的調焦調平裝置，其中，探測系統將起偏光路的光線匯聚到探測器上。
4.根據權利要求1或3所述的調焦調平裝置，其中，探測系統中包括有光彈調制器和第二偏振片，光彈調制器將偏振方向不同的兩幅圖像沿時間軸進行調制。
5.根據權利要求3所述的調焦調平裝置，其中，光彈調制器由驅動機構控制。
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