[發明專利]一種噴砂設備

無效

• 申請號: 201110319310.6
• 申請日: 2011-10-19
• 公開（公告）號: CN103056783A
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 宋常樂;劉學;蔡龍;袁剛;張鵬;崔三觀;吳阿敏
• 申請（專利權）人: 浙江昱輝陽光能源有限公司
• 主分類號: B24C3/02
• 分類號: B24C3/02;B24C3/32;B24C5/04;B24C9/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

1.一種噴砂設備，用于去除硅片邊緣，其特征在于，包括：

置片箱(11)；

設置在所述置片箱(11)的底板上的硅片夾具(2)；

噴砂槍(3)，其噴頭與裝夾在所述硅片夾具(2)的硅片(21)相對并設置在所述置片箱(11)的內壁上；

通過砂料管(31)與所述噴砂槍(3)相連的砂料箱(4)，所述砂料箱(4)設置在所述置片箱(11)上；

通過氣管與所述噴砂槍(3)相連的空氣壓縮機。

2.根據權利要求1所述的噴砂設備，其特征在于，所述硅片夾具(2)為鎖緊螺釘裝置，其包括設置在所述置片箱(11)的底板上的硅片安裝槽和通過螺紋配合在硅片安裝槽的側壁上的鎖緊螺釘，且所述鎖緊螺釘的前端與所述硅片(21)相抵。

3.根據權利要求1所述的噴砂設備，其特征在于，還包括驅動裝置(6)，所述驅動裝置(6)通過連桿(61)與所述噴砂槍(3)相連，用于驅動所述噴砂槍(3)運動，所述驅動裝置(6)固定在所述置片箱(11)的外壁上。

4.根據權利要求3所述的噴砂設備，其特征在于，還包括固定在所述置片箱(11)的外壁上的撐板(62)，所述驅動裝置(6)設置于所述撐板(62)上。

5.根據權利要求4所述的噴砂設備，其特征在于，所述驅動裝置(6)包括第一驅動裝置和第二驅動裝置，所述第一驅動裝置設置在所述置撐板(62)上，所述第二驅動裝置與所述第一驅動裝置的移動端相連，且所述第一驅動裝置的推動方向與所述第二驅動裝置的推動方向相交，所述第二驅動裝置的移動端與所述噴砂槍(3)相連。

6.根據權利要求3所述的噴砂設備，其特征在于，還包括吸風機(7)，所述吸風機(7)設置在所述置片箱(11)的外壁上并與所述置片箱(11)的內腔相通。

7.根據權利要求1所述的噴砂設備，其特征在于，還包括照明燈(8)，所述照明燈(8)設置在所述置片箱(11)內部。

8.根據權利要求6所述的噴砂設備，其特征在于，還包括控制箱(9)，所述控制箱(9)設置在所述置片箱(11)上，用于控制所述空氣壓縮機的氣壓、所述驅動裝置(6)的啟停和所述吸風機(7)的力度。

9.根據權利要求1-8任一項所述的噴砂設備，其特征在于，所述空氣壓縮機的出口連接油水分離器(51)。

10.根據權利要求1-8任一項所述的噴砂設備，其特征在于，所述置片箱(11)底面安裝支撐架(12)。