[發(fā)明專利]一種防氧化的銅基鍵合絲的制備工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110317098.X
• 申請(qǐng)日: 2011-10-19
• 公開（公告）號(hào): CN102324392A
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙碎孟;周鋼;薛子夜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東佳博電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/48
• 分類號(hào): H01L21/48;H01L23/49
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種防氧化的銅基鍵合絲的制備工藝，其特征在于：鍵合絲包括基礎(chǔ)材料銅，并添加Pt、Ce、Pd微量金屬元素，構(gòu)成基材，基材金屬絲表面鍍防氧化金層，構(gòu)成所述銅基鍵合絲，基礎(chǔ)材料銅、鍍層金的純度均高于99.99％，鍵合絲中各成分的質(zhì)量占比Cu為88-97％，微量金屬元素La為0.0006-0.010％，Ce為0.001-0.005％，Pd為0.003-0.005％，鍍層金為2-10％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防氧化的銅基鍵合絲的制備工藝，其特征在于：所述鍵合絲的基礎(chǔ)材料為銅，銅來料包括成品銅線。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防氧化的銅基鍵合絲的制備工藝，其特征在于：所述鍵合絲基材是以銅為基礎(chǔ)材料添加幾種微量金屬元素。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防氧化的銅基鍵合絲的制備工藝，其特征在于：所述鍵合絲表面鍍金的厚度為0.1微米-2.0微米。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的一種防氧化的銅基鍵合絲的制備工藝，其特征在于：所述鍵合絲的制備工藝包括如下步驟：

步驟一，混合金屬基材，將純度高于99.99％的Cu，添加選定的微量金屬材料Pt、Ce、Pd，混合為母合金基材，做好混合熔煉前期準(zhǔn)備；

步驟二，熔煉母合金胚材，將上述混合金屬材料在真空度為10^-2-10^-3Mpa的熔爐內(nèi)高溫融化，保持熔煉溫度為1800℃，精煉時(shí)間50分鐘以上，熔煉過程中采用高純度氬氣保護(hù)，最后采用凝固方式制備直徑為8-10毫米的母合金銅棒胚料；

步驟三，拉制微細(xì)絲，將上述直徑為8-10毫米的母合金銅棒胚料進(jìn)行冷加工，加工至直徑為1.0毫米左右的母合金絲，然后進(jìn)行拉拔處理，每次加工率為15％至20％，每次拉拔速度控制在50米/分鐘左右，速度波動(dòng)控制在10％以內(nèi)；再經(jīng)過以下相似過程多次，采用每次加工率為6％至20％，將前述金屬細(xì)絲加工至直徑15微米-75微米，拉制速度控制在500米/分鐘，速度變化控制在10％以內(nèi)；

步驟四，清洗金屬絲，將上述微細(xì)金屬絲進(jìn)行表面清洗，采用超聲波技術(shù)清洗，清洗介質(zhì)采用無水酒精；

步驟五，表面鍍金，將上述清洗后的微細(xì)金屬絲進(jìn)行電鍍處理，電鍍液為軟金電鍍液，金的純度高于99.99％，電鍍電流密度0.25A/dm²-5.0A/dm²，電鍍速度控制在20m/min內(nèi)；

步驟六，退火處理，將表面鍍金的微細(xì)銅絲進(jìn)行退火處理，采用氮?dú)獗Ｗo(hù)環(huán)境下熱處理，熱處理溫度為415℃-425℃，處理時(shí)間控制在1.0S-2.1S，控制退火時(shí)張力大小3.0g以內(nèi)；

步驟七，繞線，使用專用繞線機(jī)，將鍵合絲定長(zhǎng)繞制在兩英寸直徑的線軸上，繞線速度控制在50m/min-100m/min，線間距約為5毫米，分卷長(zhǎng)度為50米至1000米；

步驟八，包裝，采用普通包裝，常溫保存。