[發明專利]壓電元件的制造方法有效
| 申請號： | 201110309740.X | 申請日： | 2011-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN102468423A | 公開（公告）日： | 2012-05-23 |
| 發明（設計）人： | 大西孝生;植谷政之 | 申請（專利權）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | H01L41/22 | 分類號： | H01L41/22 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 鐘晶;於毓楨 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 元件 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓電元件的制造方法，其為制造具備薄板狀的燒成壓電體和在所述燒成壓電體的兩面上形成的膜狀電極的壓電元件的方法，其中，該制造方法具有如下過程：在相對于極化方向垂直的方向上，在至少兩個部位約束所述燒成壓電體，并將所述燒成壓電體極化。
2.如權利要求1所述的壓電元件的制造方法，其中，約束所述薄板狀的燒成壓電體的部位是所述燒成壓電體的長度方向的兩端。
3.如權利要求1或2所述的壓電元件的制造方法，其中，在約束所述薄板狀的燒成壓電體的部位，從多個方向把持燒成壓電體，從而約束所述燒成壓電體。
4.如權利要求1～3中任一項所述的壓電元件的制造方法，其中，在極化后切斷約束所述薄板狀的燒成壓電體的部位。
5.如權利要求4所述的壓電元件的制造方法，其中，所述切斷方法為選自電子射線、離子束、刻蝕、噴砂加工、激光加工中的任一方法。
6.一種燒成壓電體的極化方法，其中，在相對于極化方向垂直的方向上，在至少兩個部位約束薄板狀的燒成壓電體，并將所述燒成壓電體極化。
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