[發(fā)明專利]彈性固定輪及包含其的晶圓適配器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110301433.7
• 申請(qǐng)日: 2011-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN103035559A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙昱劼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;F16C13/00
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 鄒姍姍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其涉及晶圓適配器。

背景技術(shù)

在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造業(yè)中，為了降低半導(dǎo)體器件的成本，采用的晶圓尺寸不斷增大。眾所周知，晶圓尺寸越大，利用單片晶圓制造出的芯片總數(shù)越多，由此單個(gè)芯片的成本就越低。

然而，晶圓尺寸的發(fā)展是個(gè)逐步的過(guò)程，且由于開發(fā)大尺寸晶圓需要巨額投資，因此對(duì)于半導(dǎo)體制造商來(lái)說(shuō)，通常會(huì)同時(shí)生產(chǎn)兩種或更多種尺寸的晶圓。這就需要半導(dǎo)體制造加工設(shè)備提供對(duì)不同尺寸晶圓的兼容。

在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中，從晶圓到半導(dǎo)體芯片，需要經(jīng)過(guò)各種復(fù)雜的加工步驟，這些加工步驟由不同的設(shè)備完成。為了簡(jiǎn)化運(yùn)輸和盡可能降低污染，通常使用一種前開式標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒(Front?Opening?Unified?Pod，F(xiàn)OUP)在不同設(shè)備之間搬移晶圓。FOUP中可以放置多個(gè)晶圓。承載有晶圓的FOUP移動(dòng)到加工設(shè)備前端后，與各加工設(shè)備進(jìn)行對(duì)接，然后晶圓被加工設(shè)備吸入并進(jìn)行加工。完成加工后，晶圓被放回FOUP，再由FOUP運(yùn)送到下一個(gè)加工設(shè)備處。

為使承載大尺寸晶圓的FOUP能夠同時(shí)兼容小尺寸晶圓，可以使用一種晶圓適配器。圖1示出常見的放置有晶圓適配器的FOUP的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，在適用大尺寸晶圓的FOUP?100中放置有可承載小尺寸晶圓的適配器102。通過(guò)晶圓適配器102上的彈性固定輪104，使得晶圓適配器102能夠在彈性固定輪104與FOUP內(nèi)側(cè)壁的相互作用力下固定在FOUP?100中。

然而，現(xiàn)有的彈性固定輪104易因受力不均勻而發(fā)生斷裂，例如，當(dāng)彈性固定輪104受到過(guò)大的擠壓力時(shí)，彈性固定輪104的輪圈106可能發(fā)生過(guò)度形變，從而導(dǎo)致輪圈106發(fā)生斷裂。由此，不僅彈性固定輪104斷裂的破屑極易劃傷甚至擊碎放置在晶圓適配器102里的晶圓，而且使得晶圓適配器102不能在FOUP?100中穩(wěn)定地固定，甚至導(dǎo)致晶圓破裂，從而污染生產(chǎn)或量測(cè)機(jī)臺(tái)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的晶圓適配器的彈性固定輪容易斷裂的問題。為了消除或者至少部分地減輕現(xiàn)有技術(shù)中的上述問題，提出了本發(fā)明。

在本發(fā)明中，通過(guò)在用于晶圓適配器的彈性固定輪的主固定部與輪圈之間增加支撐條，來(lái)為彈性固定輪提供增強(qiáng)的支撐能力，由此減少或消除斷裂的發(fā)生。

根據(jù)本公開的第一方面，提供了一種用于晶圓適配器的彈性固定輪，包括：輪圈；和主固定部，該主固定部位于所述輪圈內(nèi)且與所述輪圈一體形成，該主固定部與所述輪圈的一部分之間存在間隙，其特征在于所述彈性固定輪還包括至少兩個(gè)支撐條，所述至少兩個(gè)支撐條中的每一個(gè)都位于所述間隙中，且每一個(gè)所述支撐條的一端與所述主固定部接觸，而另一端與所述輪圈的內(nèi)側(cè)接觸。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述輪圈的內(nèi)側(cè)形成有滑道，每一個(gè)所述支撐條的所述另一端可滑動(dòng)地設(shè)置在所述滑道中。

在一個(gè)實(shí)施例中，每一個(gè)所述支撐條的所述一端與所述主固定部固定接觸。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述主固定部的側(cè)圍形成有主固定部滑道，每一個(gè)所述支撐條的所述一端可滑動(dòng)地設(shè)置在所述主固定部滑道中。

在一個(gè)實(shí)施例中，每一個(gè)所述支撐條的所述另一端與所述輪圈的內(nèi)側(cè)固定接觸。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述輪圈內(nèi)側(cè)的滑道由相互分開的多個(gè)滑道分段構(gòu)成，其中每一個(gè)所述支撐條的所述另一端可滑動(dòng)地設(shè)置在相應(yīng)的一個(gè)所述滑道分段中。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述主固定部滑道由相互分開的多個(gè)主固定部滑道分段構(gòu)成，其中每一個(gè)所述支撐條的所述一端可滑動(dòng)地設(shè)置在相應(yīng)的一個(gè)所述主固定部滑道分段中。

在一個(gè)實(shí)施例中，在所述支撐條的總個(gè)數(shù)為偶數(shù)時(shí)，所述支撐條關(guān)于所述主固定部對(duì)稱地分布。

在一個(gè)實(shí)施例中，在所述支撐條的總個(gè)數(shù)為奇數(shù)時(shí)，一個(gè)所述支撐條與所述主固定部的中心軸線共線，其余所述支撐條關(guān)于該共線的支撐條對(duì)稱地分布。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述至少兩個(gè)支撐條的部分或全部集中在所述間隙的一部分中。

在一個(gè)實(shí)施例中，形成所述支撐條的材料與形成所述輪圈和所述主固定部的材料相同。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述支撐條的材料為塑料。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述主固定部上設(shè)置有螺孔，便于將所述彈性固定輪固定在晶圓適配器上。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述支撐條的總個(gè)數(shù)為三個(gè)。