[發明專利]彈性固定輪及包含其的晶圓適配器

有效

• 申請號: 201110301433.7
• 申請日: 2011-09-29
• 公開（公告）號: CN103035559A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 趙昱劼
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;F16C13/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 鄒姍姍

1.一種用于晶圓適配器的彈性固定輪(200)，包括：

輪圈(202)；和

主固定部(204)，該主固定部(204)位于所述輪圈(202)內且與所述輪圈(202)一體形成，該主固定部(204)與所述輪圈(202)的一部分之間存在間隙(205)，其特征在于所述彈性固定輪(200)還包括：

至少兩個支撐條(206)，所述至少兩個支撐條(206)中的每一個都位于所述間隙(205)中，且每一個所述支撐條(206)的一端(222)與所述主固定部(204)接觸，而另一端(224)與所述輪圈(202)的內側接觸。

2.根據權利要求1所述的彈性固定輪，其特征在于，所述輪圈(202)的內側形成有滑道(208)，每一個所述支撐條(206)的所述另一端(224)可滑動地設置在所述滑道(208)中。

3.根據權利要求2所述的彈性固定輪，其特征在于，每一個所述支撐條(206)的所述一端(222)與所述主固定部(204)固定接觸。

4.根據權利要求2所述的彈性固定輪，其特征在于，所述主固定部(204)的側圍(220)上形成有主固定部滑道，每一個所述支撐條(206)的所述一端(222)可滑動地設置在所述主固定部滑道中。

5.根據權利要求1所述的彈性固定輪，其特征在于，每一個所述支撐條(206)的所述另一端(224)與所述輪圈(202)的內側固定接觸。

6.根據權利要求5所述的彈性固定輪，其特征在于，每一個所述支撐條(206)的所述一端(222)與所述主固定部(204)固定接觸。

7.根據權利要求2所述的彈性固定輪，其特征在于，所述輪圈(202)內側的滑道(208)由相互分開的多個滑道分段構成，其中每一個所述支撐條(206)的所述另一端(224)可滑動地設置在相應的一個所述滑道分段中。

8.根據權利要求4所述的彈性固定輪，其特征在于，所述主固定部滑道由相互分開的多個主固定部滑道分段構成，其中每一個所述支撐條(206)的所述一端(222)可滑動地設置在相應的一個所述主固定部滑道分段中。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的彈性固定輪，其特征在于，在所述支撐條(206)的總個數為偶數時，所述支撐條(206)關于所述主固定部(204)對稱地分布。

10.根據權利要求1至8中任一項所述的彈性固定輪，其特征在于，在所述支撐條(206)的總個數為奇數時，一個所述支撐條(206)與所述主固定部(204)的中心軸線(210)共線，其余所述支撐條(206)關于該共線的支撐條(206)對稱地分布。

11.根據權利要求1至8中任一項所述的彈性固定輪，其特征在于，所述至少兩個支撐條(206)的部分或全部集中在所述間隙(205)的一部分中。

12.根據權利要求1至8中任一項所述的彈性固定輪，其特征在于，所述支撐條(206)的材料與所述輪圈(202)和所述主固定部(204)的材料相同。

13.根據權利要求1至8中任一項所述的彈性固定輪，其特征在于，所述支撐條(206)的材料為塑料。

14.根據權利要求1至8中任一項所述的彈性固定輪，其特征在于，所述主固定部(204)上設置有螺孔(203)，便于將所述彈性固定輪(200)固定在晶圓適配器上。

15.根據權利要求1至8中任一項所述的彈性固定輪，其特征在于，所述支撐條(206)的總個數為三個。

16.一種晶圓適配器(300)，包括：

上支架(301)；

下支架(302)；以及

晶圓層架(303)，該晶圓層架設置在所述上支架(301)和下支架(302)之間，用以承載晶圓，其中

在所述上支架(301)的上表面(304)或下支架(302)的上表面(305)上固定有一個或多個根據權利要求1至15所述的彈性固定輪(200)。