[發明專利]玻璃管及其制造方法

無效

• 申請號: 201110296186.6
• 申請日: 2011-09-30
• 公開（公告）號: CN102976625A
• 公開（公告）日: 2013-03-20
• 發明（設計）人: 陳隆;馮輝祥
• 申請（專利權）人: 華燈光電股份有限公司
• 主分類號: C03C17/22
• 分類號: C03C17/22;H01J9/00;H01J61/30
• 代理公司: 上海波拓知識產權代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

1.一種玻璃管的制造方法，其特征是：所述方法包括：

提供玻璃管，所述玻璃管具有內側表層；以及

在所述內側表層上形成第一層氮化硅薄膜。

2.根據權利要求1所述的玻璃管的制造方法，其特征是：形成所述第一層氮化硅薄膜的方法包括下列步驟：

提供多種反應氣體；以及

對所述多種反應氣體進行熱裂解制程而形成所述第一層氮化硅薄膜。

3.根據權利要求2所述的玻璃管的制造方法，其特征是：所述熱裂解制程通入的所述多種反應氣體包括氫化硅、氫氣、氮氧化合物以及二氯硅烷，并以氨氣為催化劑。

4.根據權利要求2所述的玻璃管的制造方法，其特征是：所述熱裂解制程溫度為300℃～1100℃。

5.根據權利要求2所述的玻璃管的制造方法，其特征是：所述熱裂解制程時間為1秒～300秒之間。

6.根據權利要求1所述的玻璃管的制造方法，其特征是：所述第一層氮化硅膜厚度為0.1μM?以上。

7.根據權利要求1所述的玻璃管的制造方法，其特征是：所述玻璃管的制造方法還包括下列步驟：

在所述玻璃管的外側表層上形成第二層氮化硅薄膜。

8.根據權利要求7所述的玻璃管的制造方法，其特征是：所述第一層氮化硅薄膜和所述第二層氮化硅薄膜是在同一制程中形成。

9.根據權利要求1所述的玻璃管的制造方法，其特征是：所述玻璃管的材質為石英。

10.根據權利要求1所述的玻璃管的制造方法，其特征是：所述玻璃管應用于高強度氣體放電燈。

11.一種玻璃管，其特征是：所述玻璃管包括空腔以及第一層氮化硅薄膜，所述空腔具有內側表層；所述第一層氮化硅薄膜設置在所述內側表層上。

12.根據權利要求11所述的玻璃管，其特征是：所述空腔還具有外側表層，所述外側表層上設置有第二層氮化硅薄膜。

13.根據權利要求11所述的玻璃管，其特征是：所述玻璃管應用于高強度氣體放電燈。