[發(fā)明專利]一種制作高溫散斑的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110286850.9
• 申請(qǐng)日: 2011-09-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102445158A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝惠民;王懷喜;陳江濤;方鵬;田雨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 清華大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/16
• 分類號(hào): G01B11/16;G03F7/16;G03F7/20
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種制作高溫散斑的方法，其特征在于該方法包括如下步驟：

1)利用計(jì)算機(jī)軟件生成多幅顆粒大小和數(shù)目各不相同的模擬散斑圖，根據(jù)圖像平均灰度梯度平方和選擇出最佳模擬圖，將該散斑圖轉(zhuǎn)化為二值圖；根據(jù)實(shí)際測(cè)試區(qū)域的大小確定不同散斑大小和密度的相應(yīng)的散斑圖模板；

2)利用有機(jī)玻璃打印機(jī)將對(duì)應(yīng)實(shí)際測(cè)試區(qū)域的散斑二值圖打印在聚氯乙烯片上，打印出的散斑圖像作為掩模板；

3)將試件切割成所需形狀，并進(jìn)行清洗，確定測(cè)試區(qū)域，根據(jù)測(cè)試區(qū)域的大小確定對(duì)應(yīng)的掩模板；

4)利用真空鍍膜裝置在試件表面蒸鍍一層金屬膜，利用勻膠機(jī)在金屬膜表面均勻涂一層光刻膠；

5)將涂有光刻膠的試件豎直放在真空汞燈曝光系統(tǒng)的載物臺(tái)上，使鍍膜的表面朝向汞燈發(fā)射的一側(cè)，將選定好的掩模板緊貼放到試件表面，不斷重復(fù)光照強(qiáng)度、曝光時(shí)間及顯影時(shí)間，直至在光刻膠表面得到清晰的掩模板散斑分布結(jié)構(gòu)；

6)將表面含有掩模板散斑分布結(jié)構(gòu)的試件放入電感耦合等離子體刻蝕機(jī)中進(jìn)行等離子刻蝕，在金屬膜上形成散斑；

7)腐蝕掉剩余的光刻膠，最終在試件表面得到高溫散斑。

2.按照權(quán)利要求1所述一種制作高溫散斑的方法，其特征在于：所述的金屬膜采用金膜或鉻膜，膜厚度為0.1微米。

3.按照權(quán)利要求1所述一種制作高溫散斑的方法，其特征在于：光刻膠的厚度在0.1～2.0微米范圍，曝光時(shí)間10～20s。