[發明專利]薄膜形成用氣相沉積材、具備該薄膜的薄膜片材和層壓片材

無效

• 申請號: 201110285639.5
• 申請日: 2011-09-23
• 公開（公告）號: CN102433531A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 黛良享;有泉久美子;吉田勇氣;櫻井英章
• 申請（專利權）人: 三菱綜合材料株式會社
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;B32B9/04;C04B35/03
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 陳萬青;王珍仙

技術領域

本發明涉及適合形成透明性和阻氣性優異的薄膜的氣相沉積材和具備該薄膜的薄膜片材以及層壓片材。更具體地，涉及用于形成這些諸特性優異，特別是適合作為液晶顯示器、有機EL顯示器或太陽能電池模塊等的阻氣材的薄膜的氣相沉積材和具備該薄膜的薄膜片材以及層壓片材。

背景技術

液晶顯示器、有機EL顯示器或太陽能電池等機器通常不耐濕，由于吸濕使其特性快速劣化，因此必須裝備具有高防濕性、即具有防止氧或水蒸氣等透過或侵入的阻氣性的部件。

例如，在太陽能電池的例子中，在與太陽能電池模塊的受光面相反側的背面設置有背板。該背板典型地在基材上由具有高防濕性的阻氣材和保護它們的部件等構成。

作為這樣的構成太陽能電池模塊的背板，例如公開了通過高強度的耐熱性耐氣候性樹脂夾入防濕性金屬箔，進而在其一方設置玻璃質的氣相沉積薄膜而成的太陽能電池模塊的背面保護用片材材料(例如，參考專利文獻1)。在該片材材料中，作為阻氣材使用鋁箔、鍍鋅鐵箔、鍍錫鐵箔等金屬箔。另外，公開了將高防濕薄膜和高耐氣候薄膜層壓并一體化而成的太陽能電池覆蓋材用于背面側保護部件的太陽能電池(例如，參考專利文獻2)。該太陽能電池覆蓋材中的高防濕薄膜使用在聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜等基材薄膜上通過化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)法等形成由二氧化硅、氧化鋁等無機氧化物的涂敷膜構成的防濕膜作為阻氣材。另外，公開了具備呈現無機氧化物層的由塑料薄膜或塑料復合材構成的阻擋層的光生伏打模塊(例如，參考專利文獻3)。在該無機氧化物層中，氧化鋁或二氧化硅作為其涂敷材料使用。

專利文獻1：日本實公平2-44995號公報(實用新型注冊的權利要求書和第五欄的第41～44行)

專利文獻2：日本特開2000-174296號公報(權利要求1、權利要求7和[0019]段)

專利文獻3：日本特表2002-520820號公報(權利要求1和[0019]段)

但是，上述專利文獻1中所示的背面保護用片材材料由于使用鋁箔等金屬箔作為阻氣材，若將該片材材料應用于太陽能電池模塊的背板，則有可能耐電壓性降低，電流泄漏。另外，使用金屬箔的片材材料若金屬箔的厚度為20μm以下，則在耐熱性耐氣候性樹脂與金屬箔之間產生的針孔增加，阻氣性顯著降低。另一方面，若增加金屬箔的厚度，則產生制造成本提高的問題。另外，如果是上述專利文獻2和專利文獻3中所使用的二氧化硅、氧化鋁等無機氧化物的情況下，為了得到高阻氣性必須確保膜厚在100nm以上，即使這樣也不能斷言阻氣性充分。

發明內容

本發明的目的在于，提供適合形成透明性和阻氣性優異的薄膜的氣相沉積材。

本發明的另一目的在于，提供具備透明性和阻氣性優異的薄膜的薄膜片材和層壓片材。

本發明的第一方面為氣相沉積材，混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作，其特征在于，上述第一氧化物粉末為MgO粉末，該第一氧化物粉末的第一氧化物純度為98％以上，上述第二氧化物粉末為CaO粉末，該第二氧化物粉末的第二氧化物純度為98％以上，氣相沉積材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的顆粒構成，氣相沉積材中的第一氧化物與第二氧化物的摩爾比為5～99∶95～1，且顆粒的堿度為0.1以上。

本發明的第二方面為基于第一方面的發明，其特征在于，進一步地，第一氧化物粉末的平均粒徑為0.1～10μm，且第二氧化物粉末的平均粒徑為0.1～10μm。

如圖1所示，本發明的第三方面為薄膜片材10，通過將基于第一或第二方面的氣相沉積材用作靶材的真空成膜法，在第一基材薄膜11上形成包含第一氧化物所含的金屬元素A和第二氧化物所含的金屬元素B的氧化物薄膜12，將上述薄膜12中的全部金屬元素的含有比例設為100摩爾％時，金屬元素A的含有比例為5～99摩爾％，金屬元素B的含有比例為95～1摩爾％。

本發明的第四方面為基于第三方面的發明，其特征在于，進一步地，真空成膜法為電子束蒸鍍法、離子鍍法、反應性等離子體沉積法、電阻加熱法或感應加熱法中的一種。

如圖1所示，本發明的第五方面為層壓片材20，在基于第三或第四方面的薄膜片材10的薄膜12形成側通過粘接層13層壓第二基材薄膜14而成。