[發(fā)明專利]閘閥

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110279670.8
• 申請日: 2011-09-20
• 公開（公告）號: CN102410378A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小川浩司;西川武志;石邊二朗
• 申請（專利權(quán)）人: SMC株式會社
• 主分類號: F16K3/18
• 分類號: F16K3/18;F16K3/30
• 代理公司: 上海市華誠律師事務(wù)所 31210
• 代理人: 梅高強;崔巍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種閘閥，這種閘閥能夠打開和閉合其中工件從一個處理室被傳送到另一個處理室所經(jīng)過的傳送通道，或者能夠打開和閉合其中壓力流體、氣體或類似物流經(jīng)的流體通道或排出通道。

背景技術(shù)

迄今為止，在半導(dǎo)體薄片、液晶基板或類似的處理設(shè)備中，半導(dǎo)體薄片、液晶基板等會經(jīng)過通道被送進和送出多種處理室，閘閥則用在這種通道內(nèi)用于打開和閉合通道。

例如，在日本專利第2613171號公開的這種閘閥中，閥盤通過在缸的驅(qū)動作用下移動的閥桿的平移運動到達閥板的面對位置后，閥桿會傾斜，借此閥盤會壓靠閥座并且被安置在閥座上，形成在閥箱內(nèi)的通道會被密封。

發(fā)明內(nèi)容

近來，在半導(dǎo)體薄片等制造廠商在空間節(jié)約上不斷改善的同時，人們期望能進一步地使構(gòu)成并被使用在處理設(shè)備中的閘閥小型化。并且，也存在能夠使得閥盤被安置在閥座上的閥閉合狀態(tài)被可靠、穩(wěn)定地維持的需求。

本發(fā)明的主要目的是提供一種閘閥，這種閘閥能可靠、穩(wěn)定地維持閥盤的閥閉合狀態(tài)，同時壓縮其高度尺寸從而有利于小型化閘閥。

本發(fā)明的閘閥配備有閥箱；閥盤，該閥盤能夠移動以安置在形成在閥箱內(nèi)的閥座上；閥桿，該閥桿被連接到閥盤上以可傾斜移動并且可沿直線移動閥盤；和驅(qū)動部，該驅(qū)動部被設(shè)置在與閥箱連接的殼體中用于在軸向方向上直線移動閥桿，這種閘閥包括：

支架(yoke)，該支架被連接到驅(qū)動部的驅(qū)動軸上，并且該支架可在驅(qū)動部的驅(qū)動作用下沿軸向方向移動；

位移構(gòu)件，該位移構(gòu)件可與支架整體移動，并且該位移構(gòu)件在沿軸向方向的終端位置可傾斜；

接合構(gòu)件，該接合構(gòu)件被設(shè)置在位移構(gòu)件的一側(cè)上，并且其中具有孔，安裝在位移構(gòu)件上的第一輥被插入該孔內(nèi)；

框架，該框架被設(shè)置成平行于閥桿的軸向方向，并具有沿軸向方向延伸的凹槽；

第二輥，該第二輥被設(shè)置在接合構(gòu)件上，并被插入凹槽內(nèi)；和

壓力接收構(gòu)件，該壓力接收構(gòu)件被設(shè)置成面朝凹槽，并且在閥盤安置在閥座上的閥閉合狀態(tài)下抵靠第二輥，

其中，閥桿、位移構(gòu)件和驅(qū)動部都平行地設(shè)置在殼體內(nèi)，壓力接收構(gòu)件由具有比框架材料的硬度更大硬度的材料形成。

根據(jù)本發(fā)明，通過將驅(qū)動部設(shè)置成平行于閥桿和位移構(gòu)件，對比于將驅(qū)動部和位移構(gòu)件設(shè)置成在一條直線上的情形，可以壓縮閘閥的高度尺寸，同時使得小型化閘閥成為可能。并且，若閥盤在閥閉合狀態(tài)下被安置在閥座上，傾斜的位移構(gòu)件通過接合構(gòu)件強加在第二輥上的大致水平方向的負(fù)載能夠被與第二輥抵靠的壓力接收構(gòu)件可靠地且合適地承受，從而可以可靠、穩(wěn)定地維持閥閉合狀態(tài)。

通過下面的描述，同時結(jié)合以說明性實例展示本發(fā)明優(yōu)選實施例的附圖，本發(fā)明的上述及其它目的、特征和優(yōu)點將會變得更加明顯。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的閘閥的整體垂直橫截面圖；

圖2是圖1中殼體附近的放大的橫截面圖；

圖3是沿圖1中線III-III剖開的橫截面圖；

圖4是沿圖1中線IV-IV剖開的橫截面圖；

圖5是沿圖1中線V-V剖開的橫截面圖；

圖6是圖4中閘閥的具有部分切除橫截面的立體圖；

圖7是圖5中閘閥的具有部分切除橫截面的立體圖；

圖8是展示圖3中閥盤和閥桿向上移動的閥打開狀態(tài)的垂直橫截面圖；

圖9是展示圖4中閥盤和閥桿向上移動的閥打開狀態(tài)的垂直橫截面圖；

圖10是展示圖5中閥盤和閥桿向上移動的閥打開狀態(tài)的垂直橫截面圖；和

圖11是展示圖9中閥盤和閥桿向下移動，閥盤移動到閥箱內(nèi)的狀態(tài)的垂直橫截面圖。

具體實施方式

如圖1-7所示，閘閥10配備有閥箱14、殼體16和缸組件18。在該閥箱14內(nèi)形成有通道12，未圖示的工件(例如半導(dǎo)體片)經(jīng)過該通道12被送進送出；該殼體16被連接到閥箱14的上部；該缸組件18被用作驅(qū)動部，并且被設(shè)置在殼體16的內(nèi)部。

閘閥10進一步地包括閥桿20、閥盤22、驅(qū)動轉(zhuǎn)換器24和保持機構(gòu)26。該閥桿20在缸組件18驅(qū)動作用下沿軸向方向(箭頭A和B的方向)發(fā)生位移，并且相對軸向方向傾斜預(yù)定角度；該閥盤22被連接在閥桿20的一端上，并且能夠阻塞且密封通道12；該驅(qū)動轉(zhuǎn)換器24可將缸組件18的直線位移轉(zhuǎn)化成閥桿20的傾斜運動；該保持機構(gòu)26能通過閥盤22維持阻塞狀態(tài)。